杨涛
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：甘肃省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 静电感应晶闸管的负阻转折特性被引量：1
- 2007年
- 针对静电感应晶闸管SITH在正向阻断态下加负栅压,当阳极电压增加到一定程度后I-V特性出现负阻转折的特性,以一种全新的角度,从SITH的作用机理出发,考虑双注入效应,考虑载流子寿命的变化,对负阻现象进行了物理分析,并计算了负阻转折电压和转折电流.
- 唐莹刘肃李思渊胡冬青常鹏杨涛
- 关键词：SITH少子寿命
- 槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管
- 2008年
- 传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管。使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管的栅极区,简化了工艺流程,使器件在调试过程中具有很大灵活性。使用PECVD(等离子体增强化学气相淀积)工艺,解决了槽栅结构静电感应晶体管的栅极区与源极区容易短路的问题。给出了详细的工艺流程。
- 杨涛刘肃李思渊王永顺李海蓉
- 关键词：静电感应晶体管肖特基势垒
