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杨东伦
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
肖斐
复旦大学材料科学系
翟歆铎
复旦大学材料科学系
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机构
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复旦大学
作者
4篇
杨东伦
3篇
肖斐
1篇
翟歆铎
传媒
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半导体技术
年份
1篇
2015
2篇
2013
1篇
2012
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晶圆承载结构及其制备方法以及晶圆减薄方法
本发明公开了一种晶圆承载结构,包括托盘以及固定在托盘上的承载盘,待加工的晶圆固定在所述承载盘上,从而对所述托盘的表面平整度要求降低,并保护所述托盘在晶圆加工过程中不被损坏,使其可重复利用,节约了成本;同时,还公开了一种晶...
杨东伦
肖斐
文献传递
再布线圆片级封装的温度循环可靠性研究
被引量:2
2013年
圆片级封装再布线层结构改变焊盘布局从而提升器件I/O密度和集成度,在移动电子产品中得到广泛应用,其热机械可靠性备受关注。按照JEDEC标准对含RDL结构的WLP器件进行了温度循环试验,研究了WLP器件结构对可靠性的影响。结果表明,随样品节距减小,器件的可靠性降低;相同节距时,焊球直径越小可靠性越低。通过失效分析发现了3种与互连结构有关的失效模式,其中一种与RDL结构直接相关,且对大节距的WLP器件可靠性产生了较大影响。结合有限元模拟,对再布线结构圆片级封装的失效机理进行了深入地分析。
杨东伦
翟歆铎
陈栋
郭洪岩
肖斐
关键词:
温度循环
晶圆承载结构及其制备方法以及晶圆减薄方法
本发明公开了一种晶圆承载结构,包括托盘以及固定在托盘上的承载盘,待加工的晶圆固定在所述承载盘上,从而对所述托盘的表面平整度要求降低,并保护所述托盘在晶圆加工过程中不被损坏,使其可重复利用,节约了成本;同时,还公开了一种晶...
杨东伦
肖斐
文献传递
再布线圆片级封装可靠性研究
集成电路封装是半导体产业后端的重要环节。近几十年来,半导体产业依靠前端工艺技术的飞速发展取得了辉煌的成果,但集成电路封装已经成为了制约电子产品发展的关键性因素。圆片级封装(Wafer Level Package)技术能够...
杨东伦
关键词:
集成电路
圆片级封装
可靠性
文献传递
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