朱勤生 作品数:40 被引量:8 H指数:1 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 陕西省自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 机械工程 更多>>
一种生长高质量富In组分InGaN薄膜材料的方法 本发明公开了一种生长高质量富In组分InGaN薄膜材料的方法,包括:选用一衬底,并在金属有机化学气相外延设备的反应室中对衬底进行高温氮化处理;用氮气作为载气将含铟源、镓源的金属有机化合物和氨气通入反应室,在氮化后的衬底上... 郭严 宋华平 郑高林 魏鸿源 刘祥林 朱勤生 杨少延 王占国分子束外延生长GaAs中δ掺杂研究 被引量:1 1996年 利用二次离子质谱(SIMS)和电化学剖面C-V方法研究了生长温度对GaAs中理想Siδ掺杂结构的偏离和掺杂原子电激活效率的影响。实验发现,外延生长Siδ掺杂GaAs时,随着生长温度的升高,Si掺杂分布SIMS峰非对称展宽,表面分凝作用加强,但不影响Si原子的扩散。另外,Si施主电激活效率随着生长温度的提高而增大。 钟战天 吴冰清 曹作萍 朱文珍 张广泽 张广泽 陈新 王佑祥 陈新 邢益荣关键词:分子束外延 Δ掺杂 砷化镓 不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响 被引量:1 2007年 在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了,面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO薄膜,其(1012)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10. 张攀峰 魏鸿源 范海波 丛光伟 杨少延 朱勤生 刘祥林关键词:ZNO 蓝宝石 XRD SEM 一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法 本发明公开了一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法,利用MOCVD设备在r面蓝宝石衬底上以InGaN插入层和GaN低温缓冲层作为弱键合层生长a面氮化镓的自剥离薄膜,具体包括:取一蓝宝石衬底;在MOCVD设备中通入氨... 王建霞 李志伟 赵桂娟 桑玲 刘长波 魏鸿源 焦春美 杨少延 刘祥林 朱勤生 王占国文献传递 新工艺生长的InGaN量子点的结构与电学性质研究 2003年 利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,采用一种称为低温钝化的新生长方法成功地生长出多层InGaN/GaN量子点。这种方法是对GaN表面进行钝化并在低温下生长,从而增加表面吸附原子的迁移势垒。采用原子力显微镜清楚地观察到该方法生长的样品中岛状的量子点。从量子点样品的I-V特性曲线观察到了共振隧穿引起的负阻效应,其中的锯齿状峰形归因于零维量子点的共振隧穿。 曲宝壮 朱勤生 陈振 陆大成 韩培德 刘祥林 王晓晖 孙学浩 李昱峰 陆沅 黎大兵 王占国关键词:量子点 MOCVD 共振隧穿 INGAN/GAN 一种生长富In组分非极性A面InGaN薄膜的方法 本发明公开了一种生长富In组分非极性A面InGaN薄膜的方法,包括:取一衬底,并在金属有机化学气相外延(MOCVD)设备的反应室中对该衬底进行高温氮化处理;利用MOCVD技术在衬底上生长非极性A面InGaN柔性层和低温G... 赵桂娟 李志伟 桑玲 刘贵鹏 刘长波 谷承艳 魏鸿源 刘祥林 朱勤生 杨少延 王占国文献传递 外电场下不对称阶梯型量子阱的等离激元特性 2016年 我们研究了Al Ga As/Ga As不对称阶梯形量子阱中准二维电子气的集体激发色散关系随电场的变化特性。发现正向电场会使子带间等离激元模变短甚至消失,反向电场会使子带间等离激元模变变长。该子带间集体激发模波矢的有效大小取决于最低两能级的波函数交叠程度。这些特性可能有利于研究基于电场效应的阶梯形量子阱结构的器件。 宋亚峰 朱勤生 孔雄雄 焦壮壮关键词:等离激元 电场 不同浓度F掺杂MoS_2性质的第一性原理计算研究 被引量:1 2017年 MoS_2二维材料由于其本身就具有直接带隙且带隙不为零,具有优于石墨烯的能带结构,是良好的半导体材料,在电学、磁学、及未来电子器件等方面都有良好的性质和应用前景。利用第一性原理方法,通过替位掺杂的方式,研究了不同浓度F掺杂单层MoS_2的能带结构和各种态密度图,并与本征单层MoS_2及文献中的掺Cl、掺O结果做了对比,分析了各自的电子结构、导电性和磁性。结果发现:掺F后单层MoS_2由直接带隙变成间接带隙,单层MoS_2的禁带宽度从本征的1.718e V减小到1.301 e V,且随着F掺杂浓度的增加,带隙更加变窄,体系的导电性更加增强。带隙的调节程度大于文献中掺Cl的效果而小于掺O的效果。磁性方面,本征的MoS_2无磁性,发现掺F后出现了一定磁性,且随着F掺杂浓度的增加其磁性增加。这些结果有利于对MoS_2优化改性和调控从而在微电子器件和半导体自旋电子学方面的应用。 宋亚峰 师李寰宇 陈显平 杨超普 檀春健 朱勤生 李辉杰关键词:第一性原理 掺杂 电子结构 制备低温超薄异质外延用柔性衬底的方法 本发明一种制备低温超薄异质外延用柔性衬底的方法,其中包括如下步骤:(1)选择一机械支撑衬底,该机械支撑衬底对于整个结构起机械支撑作用;(2)用分子束外延在机械支撑衬底上生长去耦合的中间层;(3)用分子束外延在去耦合的中间... 张志成 杨少延 黎大兵 陈涌海 朱勤生 王占国文献传递 一种制作白光发光二极管的方法 本发明一种制作白光发光二极管的方法,该方法包括如下制备步骤:(1)选择衬底材料,在该衬底上外延生长氮化镓基材料作为下一步的衬底;(2)对氮化镓基材料表面进行钝化;(3)在上述衬底上生长一层氮化镓基量子点作为诱导层;(4)... 陈振 韩培德 陆大成 刘祥林 王晓晖 朱勤生 王占国文献传递