2024年11月28日
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方续东
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64
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西安交通大学
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合作作者
蒋庄德
西安交通大学机械工程学院机械制...
赵立波
西安交通大学机械工程学院机械制...
田边
西安交通大学
孙昊
西安交通大学
朱楠
西安交通大学
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基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法
本发明公开了一种基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法,包括用于提供相对参考系的外壳、作为胸部呼吸深度与呼吸频率测量装置的内壳以及第一、第二惯性测量单元。首先通过内外壳以及弹簧连接,为胸部的运动提供了相对参考...
方续东
邓武彬
方子艳
吴俊侠
高博楠
孙昊
吴晨
赵立波
田边
王淞立
朱楠
蒋庄德
文献传递
一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器
本发明公开了一种基于静电激励电容检测的差分式硅谐振压力传感器,属于微纳传感器技术领域,包括基底层、受拉谐振器和受压谐振器,所述基底层包括压力敏感膜与固定在压力敏感膜上的硅岛;所述受拉谐振器布置在压力敏感膜的受拉区域,所述...
方续东
赵永超
吕秩光
卓文强
方子艳
孙昊
张栋
吴晨
田边
赵立波
蒋庄德
一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法
本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法,测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对...
方续东
吴俊侠
孙昊
方子艳
吴晨
邓武彬
高博楠
赵立波
田边
蒋庄德
丁崇亮
申啸
基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统
本发明公开了一种基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统,所述传感装置包括底座、柔性压电薄膜传感器和惯性球悬臂梁,所述柔性压电薄膜传感器下端固定在底座上;所述惯性球悬臂梁设置在柔性压电薄膜传感器内侧本传感器仅...
方续东
李圣
方子艳
赵立波
田边
吴晨
孙昊
邓武彬
高博楠
吴俊侠
王淞立
朱楠
孙林
蒋庄德
基于可靠界面结合的柔性多功能薄膜的制备方法及器件
本发明公开了一种基于可靠界面结合的柔性多功能薄膜的制备方法及器件,制备方法包括以下步骤:首先将含有氨基的聚合物改性,在其分子链上引入巯基,并将其溶解在去离子水中;将金属纳米颗粒加入含巯基聚合物的溶液中,均匀分散后静置;将...
方续东
孙昊
吴晨
康强
前田龙太郎
张赟
秦广照
王建鲁
张南
蒋庄德
一种晶圆级测试用MEMS探针制备方法
本发明公开了一种晶圆级测试用MEMS探针制备方法,采用微铸造工艺制备探针本体,之后在探针本体表面沉积绝缘隔离层,在绝缘隔离层表面制备屏蔽金属层来完成探针的制备。由于MEMS技术的良好微细加工能力,采用本技术方案可制备一致...
方续东
吴俊侠
吴晨
梁鹏程
孙昊
方子艳
邓武彬
高博楠
丁崇亮
申啸
一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器
本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器,包括依次设置的玻璃层,谐振器层以及敏感膜层,敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛;所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点;每个可动锚点一...
方续东
高博楠
方子艳
李瑜
饶浩
孙昊
吴晨
邓武彬
吴俊侠
赵立波
田边
韩香广
王淞立
王鑫垚
陈兆翔
蒋庄德
一种复合纳米纤维膜及柔性应变传感器的制备方法
本发明公开了一种复合纳米纤维膜及柔性应变传感器的制备方法,一种复合纳米纤维膜的步骤为:先将高分子颗粒溶解于有机溶剂制备出纺丝溶液;将纺丝溶剂转移到注射器中,通过注射器将纺丝溶液挤出,调节静电纺丝相关参数使射流稳定从而在收...
方续东
孙昊
王云凤
吴晨
康强
蒋庄德
前田龙太郎
SOI超高压压力传感器研究
方续东
关键词:
超高压
传感器
压阻
一种检测空气中活泼金属氧化物浓度的传感器和方法
本发明公开了一种检测空气中活泼金属氧化物浓度的传感器和方法,所述传感器包括依次连通的第一反应室、第一检测室、第二反应室和第二检测室,所述第一反应室上设置有进气口,所述第一反应室中设置有一氧化碳热催化氧化剂,所述第一检测室...
方续东
张栋
方子艳
赵立波
田边
吴晨
孙昊
邓武彬
高博楠
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