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徐仁伯

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:湖南大学物理与微电子科学学院更多>>
发文基金:湖南省自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电阻
  • 2篇电阻率
  • 1篇导电类型
  • 1篇电阻率测试仪
  • 1篇仪表
  • 1篇数据处理
  • 1篇方块电阻
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇测量仪
  • 1篇测量仪表
  • 1篇测试仪

机构

  • 2篇湖南大学

作者

  • 2篇徐仁伯
  • 1篇何敏
  • 1篇晏敏
  • 1篇章兢
  • 1篇侯志春

传媒

  • 1篇宇航计测技术

年份

  • 2篇2008
3 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
基于双电测组合法半导体材料电阻率测试仪的研制被引量:2
2008年
采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准确度和智能化水平。实际运行结果表明:与传统直流四探针测试法相比,该双电测试法测量结果与探针间距无关,能自动修正边界误差和量程的转换,还可以测量材料的匀均性,较好地满足了生产与教学需要。
晏敏徐仁伯章兢侯志春何敏
关键词:半导体材料电阻电阻率测量仪表
多功能半导体材料测试仪的设计
导电类型、方块电阻和电阻率是半导体材料最重要的特性参数,通过对其判别和测量,可以掌握不同种样品中杂质浓度的分布情况。因此,在半导体行业中,必须快速、准确地对硅晶圆片导电类型、方块电阻和电阻率进行判‘断、测量和分档。 ...
徐仁伯
关键词:导电类型方块电阻电阻率数据处理
文献传递
共1页<1>
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