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张淑蓉
作品数:
8
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供职机构:
西安电炉研究所
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相关领域:
文化科学
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合作作者
王利花
西安电炉研究所
李勇
西安电炉研究所
刘峰
西安电炉研究所
杨雷
西安电炉研究所
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中文专利
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1篇
文化科学
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真空
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真空炉
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真空系统
3篇
炉盖
3篇
监视系统
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隔热屏
2篇
炉体
2篇
进气
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单级
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倒扣
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底环
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电极
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电阻炉
1篇
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真空电阻炉
1篇
石墨
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输出口
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水冷
1篇
水流
机构
8篇
西安电炉研究...
作者
8篇
张淑蓉
6篇
王利花
3篇
李勇
1篇
杨雷
1篇
刘峰
年份
1篇
2013
3篇
2012
4篇
2011
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化学气相沉积炉
本发明涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成,在生产过程中,操作工人要随时监视系统工作情况,发现隐患要立即解决,工人劳动强度相当大,用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、炉盖提...
王利花
张淑蓉
李勇
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化学气相沉积炉
本发明涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成,在生产过程中,操作工人要随时监视系统工作情况,发现隐患要立即解决,工人劳动强度相当大,用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、炉盖提...
王利花
张淑蓉
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一种井式加热炉水冷炉底结构
本实用新型涉及一种井式加热炉水冷炉底结构。本实用新型包括炉底环板、竖直通长筋板、水套板层、导流板,炉底环板与炉底板焊接构成炉底筒体,若干个竖直通长筋板水平焊接在炉底板上构成若干个横向水流通道,炉底筒体的中部设置有水套板层...
张淑蓉
刘峰
杨雷
王利花
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一种防旋转型真空炉用水冷电极
本实用新型涉及一种防旋转型真空炉用水冷电极。本实用新型包括压紧螺栓、压板、带凸台的止口环、炉体接管,铜电极的中部焊接有带矩形定位槽的固定法兰,止口环的凸台对应设置在固定法兰的矩形定位槽内,并通过压紧螺栓、压板与炉体接管固...
张淑蓉
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一种化学气相沉积炉
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成,在生产过程中,操作工人要随时监视系统工作情况,发现隐患要立即解决,工人劳动强度相当大,用工成本高。本实用新型包括炉本体、炉体提升机构...
王利花
张淑蓉
李勇
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一种气相沉积炉用三级过滤系统
本实用新型涉及一种气相沉积炉用三级过滤系统。目前,此类设备是在原有真空炉的基础上改造而成,在沉积过程中,混合气体经单级过滤器过滤后,约有总量30%的粉尘进入泵腔,污染泵油,使得泵频繁发生卡滞现象。本实用新型包括一级过滤器...
张淑蓉
王利花
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一种化学气相沉积炉用反应室
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉用反应室。现有的钟罩式的沉积室倒扣在沉积基片上,在沉积过程,一部分反应制备的新材料会沉积在钟罩式沉积室的内壁上,无法获取,造成材料浪费,增加了制备成本。本实用新型包括蒸发室、沉积室、过渡管...
王利花
张淑蓉
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一种石墨棒加热体的连接结构
本实用新型涉及一种石墨棒加热体的连接结构。由于石墨的耐高温、高电阻率、易加工、价格较难熔金属低等特点,做为真空电阻炉、保护气氛炉的加热元件,越来越受到热处理行业的追捧。本实用新型包括上连接圆环、下连接圆环、若干个石墨加热...
张淑蓉
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