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张洪震
作品数:
3
被引量:7
H指数:1
供职机构:
国防科学技术大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
吴学忠
国防科学技术大学
肖定邦
国防科学技术大学
栾传俊
中国人民解放军防空兵指挥学院
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作者
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张洪震
1篇
栾传俊
1篇
肖定邦
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吴学忠
传媒
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1篇
微计算机信息
年份
2篇
2007
1篇
2006
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3
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微机械加速度计及其在军事上的应用
2007年
微加速度计的主要特点是体积小、质量轻、功耗低,可大批量生产。加工技术包括特种超精密机械加工技术、半导体硅加工方法和LIGA技术。微加速度计在军事领域的应用包括弹的引信、弹的导航和制导、惯性测量系统和稳定平台。
张洪震
栾传俊
关键词:
军事领域
微机械加速度计
应用包
微加速度计
LIGA技术
惯性测量系统
叉指微加速度计的设计与闭环检测研究
被引量:1
2007年
设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g。
张洪震
吴学忠
肖定邦
关键词:
有限元分析
叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究
利用MEMS技术制造的微加速度计具有体积小、功耗低、可靠性高等优点,在汽车安全、惯性制导、振动控制等领域得到了广泛的应用。目前,常规武器制导化对微加速度计的性能提出了更高的要求,主要体现在测量精度和可靠性两方面。电容式微...
张洪震
关键词:
微电子机械系统
微加速度计
有限元仿真
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