您的位置： 专家智库 > >

张晓光

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：天津理工大学自动化学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇织构
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇天津理工大学

作者

  • 1篇刘晖
  • 1篇张晓光

传媒

  • 1篇天津理工学院...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
〈101〉取向织构氮化铝薄膜的制备研究被引量：1
2004年
采用直流溅射法在室温条件下制备〈101〉取向织构的氮化铝(AlN)多晶薄膜,研究实验条件(溅射功率、氩气和氮气流量等)对氮化铝薄膜的成膜速率、结构、颗粒度、应力等性能的影响,得到了较佳的制备条件.本研究结果具有成膜温度低、溅射功率小、沉积速率高和薄膜高度织构等优点,对高性能氮化铝薄膜的制备及应用研究具有一定的参考价值.
张晓光刘晖
关键词：氮化铝织构磁控溅射
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0