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崔惠绒

作品数：98 被引量：114H指数：6
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：经济管理文化科学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 64篇专利
  • 29篇期刊文章
  • 4篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 15篇经济管理
  • 11篇文化科学
  • 7篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇社会学

主题

  • 31篇激光
  • 24篇激光器
  • 21篇分子
  • 18篇准分子
  • 18篇分子激光器
  • 17篇准分子激光
  • 17篇准分子激光器
  • 10篇极紫外
  • 9篇法兰
  • 6篇真空计
  • 6篇清洁真空
  • 6篇污染
  • 6篇相干
  • 6篇谐振腔
  • 6篇密封
  • 6篇截面
  • 6篇矩形截面
  • 5篇钝化
  • 5篇相干长度
  • 5篇镜片

机构

  • 98篇中国科学院光...
  • 2篇中国石油大学...
  • 1篇中央财经大学
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 98篇崔惠绒
  • 58篇王宇
  • 48篇周翊
  • 37篇陈进新
  • 36篇张立佳
  • 35篇吴晓斌
  • 27篇王魁波
  • 23篇范元媛
  • 23篇宋兴亮
  • 20篇鲍洋
  • 18篇张罗莎
  • 18篇罗艳
  • 17篇李慧
  • 15篇赵江山
  • 14篇王倩
  • 14篇沙鹏飞
  • 11篇丁金滨
  • 10篇梅东滨
  • 10篇蔡茜玮
  • 8篇单耀莹

传媒

  • 7篇管理观察
  • 5篇当代经济
  • 3篇红外与激光工...
  • 3篇审计月刊
  • 2篇发展研究
  • 2篇财会月刊（下...
  • 1篇会计之友
  • 1篇财会通讯（上...
  • 1篇微计算机信息
  • 1篇科技和产业
  • 1篇技术与创新管...
  • 1篇财会月刊（中...
  • 1篇行政事业资产...
  • 1篇二〇〇八年高...
  • 1篇二〇〇六年全...

年份

  • 5篇2019
  • 11篇2018
  • 17篇2017
  • 19篇2016
  • 14篇2015
  • 6篇2014
  • 15篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2010
  • 3篇2008
  • 3篇2006
共 98 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种弹性金属矩形密封装置
本实用新型公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新谢婉露罗艳周翊王宇崔惠绒
文献传递
加强实验室检测设备管理工作的思考被引量：1
2016年
《实验室资质认定工作指南》中明确指明实验室应配备正确进行检验/校准所需的检测设备,并加强检测设备管理。实验室检测设备管理是个系统工程,本文从检测设备管理实用性的角度出发,详细阐述了加强检测设备周期性检定/校准、期间核查、维修和保养管理工作的思考和建议,以期为实验室检测设备管理工作提供一定的借鉴。
段红平崔惠绒鲍洋
关键词：期间核查维修保养
一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置
本实用新型公开了一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置，特别适用于极紫外光刻机。动态气体隔离装置的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道...
陈进新崔惠绒张立佳谢婉露吴晓斌王宇
文献传递
一种激光器温控系统
本实用新型公开了一种激光器温控系统，其中该激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置，所述放电腔在工作时会产生热量，所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度，多个温度控制装置用于冷却或加热放电...
张立佳吴晓斌赵江山丁金滨陈进新李慧刘斌崔惠绒周翊王宇
文献传递
环形泵浦激光器
本实用新型公开了一种环形泵浦激光器，包括泵浦光输入装置、激光腔和泵浦光回收装置，泵浦光输入装置用于产生泵浦光并入射到所述激光腔内，激光腔用于对激光振荡输出，泵浦光回收装置用于将从所述激光腔泄露的泵浦光回收后重新输入到激光...
范元媛王倩翟晔宋兴亮张立佳蔡茜玮彭卓君崔惠绒周翊王宇
文献传递
一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统
本实用新型公开了一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统，测试设备包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(...
陈进新王宇吴晓斌谢婉露王魁波崔惠绒
文献传递
一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统
本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波张罗莎罗艳周翊王宇崔惠绒
一种用于极紫外光刻机的动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁，特别适用于极紫外光刻机。动态气体锁的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道侧面的隔板内有内气流通道，清洁气体...
陈进新崔惠绒张立佳谢婉露吴晓斌王宇
文献传递
具有环形泵浦结构的固体激光器
本发明公开了一种具有环形泵浦结构的固体激光器，包括泵浦光输入装置、激光腔和泵浦光回收装置，泵浦光输入装置用于产生泵浦光并入射到所述激光腔内，激光腔用于对激光振荡输出，泵浦光回收装置用于将从所述激光腔泄露的泵浦光回收后重新...
范元媛王倩翟晔宋兴亮张立佳蔡茜玮彭卓君崔惠绒周翊王宇
文献传递
激光相干长度连续调节装置
本实用新型涉及一种激光相干长度连续调节装置，包括激光谐振腔，激光在该激光谐振腔内多次往返振荡后输出，该装置内包含激光扩束/缩束装置和光栅，激光在输出之前通过该激光扩束/缩束装置和光栅，其中激光扩束/缩束装置对激光进行扩束...
周翊范元媛宋兴亮王倩翟晔鲍洋崔惠绒王宇
文献传递
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