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崔坤
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30
被引量:30
H指数:2
供职机构:
华莹电子有限公司
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合作作者
李勇
华莹电子有限公司
宋伟
华莹电子有限公司
王祥邦
华莹电子有限公司
朱卫俊
华莹电子有限公司
宋松
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1篇
2002
1篇
2001
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声表面波器件用Y36°切LiTaO_3晶片表面加工研究
被引量:16
2001年
采用双晶摆动曲线法测量了钽酸锂晶片的加工损伤层 ,其平均值在 2 6 .2~ 5 2 .8μm之间 ;根据工序要求 ,选取加工余量为 15 0 μm左右 ,采用天然石榴石研磨粉 ,适当的磨料浓度、添加悬浮剂、分散剂以避免产生缺陷 ,并采用化学机械抛光法 ,可获得较高加工质量的声表面波器件用Y36°切LiTaO3
夏宗仁
李春忠
崔坤
关键词:
LITAO3晶体
损伤层
声表面波器件
终端机
一种超薄压电单晶箔的制作方法及其应用
本发明属于微电子器件技术领域,是为了解决现有技术中很难获得数微米且晶体性能良好的单晶箔的不足,而提供一种采用机械减薄加上化学腐蚀减薄的方式,尤其是利用了畴极性面的化学腐蚀速率的差异,使得压电层可以达到更薄的厚度的制作超薄...
夏前亮
卢凯
黄亮
朱卫俊
王祥邦
孙建萍
陈培杕
崔坤
4G/5G通信终端用超薄还原钽酸锂晶片应用
宋松
李勇
崔坤
崔建钢
王毅刚
胡允通
施旭霞
宋伟
温旭杰
主要技术内容:项目所属科学技术领域为新材料技术领域。该项目主要研究内容是高品质超薄还原钽酸锂晶体的加工与后处理技术。通过该项目的研究,在钽酸锂晶体后加工技术上实现了重大突破:自主研发了气固相结合的还原技术,还原黑化工艺获...
关键词:
关键词:
通信终端
抛光工艺
一种高熔点掺杂元素的多晶料合成方法
本发明涉及一种高熔点掺杂元素的多晶料合成方法,先用液相法合成高浓度、固定掺杂浓度的多晶料前驱体,将所需掺杂元素的氧化物、以及基材原料溶解于有机酸中,使其与有机酸完全反应,形成均一的透明的溶液。再对透明溶液采用喷雾干燥技术...
宋伟
刘宏
王孚雷
李勇
康学良
温旭杰
桑元华
崔坤
施旭霞
文献传递
一种无线无源声表面波振动传感器
本发明提供一种无线无源声表面波振动传感器,包括天线,匹配电路,压电悬臂梁,由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁上的反射型延迟线结构的SAW器件,位于悬臂梁自由端末端的质量振子和悬臂梁固定基座。叉指换能器与两个反射器构成SAW器件...
王文
李勇
王毅坚
薛蓄峰
胡建学
夏前亮
贝伟斌
崔坤
文献传递
一种黑化钽酸锂晶片的处理方法
本发明目的提供一种黑化钽酸锂的处理方法;一种无氧富锂浓度气氛条件下,高温(居里温度以下)处理钽酸锂、铌酸锂晶片的工艺方法,通过此工艺方法可提高晶片的电导率,迅速消除由于温度变化而产生的表面电荷,不产生电荷累积,达到减弱热...
崔坤
李勇
宋松
宋伟
温旭杰
朱卫俊
王祥邦
徐慧琴
施旭霞
文献传递
一种声表面谐振器及滤波器
本发明公开了一种声表面谐振器,包括IDT电极、压电膜层、低声速层、高声速层、高声速支撑组件和反射器,IDT电极和反射器均设于压电性基板上;IDT电极设置在压电膜层上,低声速层叠于压电膜层与高声速层之间,高声速层设于高声速...
姜建利
肖功亚
崔坤
黄亮
李勇
朱卫俊
庞旗旗
射频前端器件用8英寸铌酸锂黑化晶片
宋松
李勇
王祥邦
夏璐
於保伟
黄明笑
林毅
崔坤
朱卫俊
施旭霞
王坚
铌酸锂(LiNbO<sub>3</sub>:LN)晶体是一种集压电、铁电、热释电、非线性、电光、光弹、光折变等性能于一体的多功能材料,具有良好的热稳定性和化学稳定性,可以利用提拉法生长出大尺寸晶体,而且易于加工,成本低,...
关键词:
一种黑化铌酸锂晶片的处理方法
本发明目的提供一种黑化铌酸锂晶片的处理方法;一种无氧富锂浓度气氛条件下,高温(居里温度以下)处理铌酸锂晶片的工艺方法,通过此工艺方法可提高晶片的电导率,迅速消除由于温度变化而产生的表面电荷,不产生电荷累积,达到减弱热释电...
崔坤
李勇
宋松
宋伟
温旭杰
朱卫俊
王祥邦
徐慧琴
施旭霞
文献传递
一种钽酸锂薄膜波导声光调制器
本发明涉及声光调制器技术领域,尤其是一种钽酸锂薄膜波导声光调制器,由压电材料、光波导和压电换能器构成,所述光波导为LT薄膜光波导,所述压电换能器为分离式叉指换能器,LT薄膜光波导设置在压电材料上,分离式叉指换能器设置在L...
温旭杰
王少葳
华平壤
宋伟
崔坤
卢明达
徐佳俊
王旭
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