您的位置： 专家智库 > >

尼启良

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇会议论文
  • 1篇专利

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇短波
  • 1篇散射
  • 1篇散射法
  • 1篇投影光刻
  • 1篇喷气
  • 1篇显微术
  • 1篇激光
  • 1篇激光等离子体
  • 1篇光刻
  • 1篇光谱
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇表面粗糙度测...
  • 1篇差分
  • 1篇粗糙度测量

机构

  • 2篇中国科学院长...

作者

  • 2篇陈波
  • 2篇尼启良
  • 1篇林景全

传媒

  • 1篇全国第二次同...

年份

  • 1篇2001
  • 1篇1997
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
喷气靶激光等离子体软X射线源
本发明属于短波光学技术领域,涉及一种对带有喷气靶的激光等离子体软X射线源的改进。它由真空靶室、喷气阀、聚焦镜、差分室、真空泵、激光束组成。本发明采用激光器提供的外触发电信号控制喷气阀的电源解决了已有技术中温度控制喷嘴带来...
陈波林景全尼启良
文献传递
散射法表面粗糙度测量
陈波尼启良
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0