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周炎德
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1
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
范向群
中国科学院上海冶金研究所上海微...
莫培根
中国科学院上海冶金研究所上海微...
吴巨
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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1990
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改进的低压LEC法生长半绝缘GaAs单晶
1990年
本文提出了改进的低压LEC/PBN法获得稳定的熔体化学计量比的条件,研究了晶体的电学性质、位错密度、C含量及EL2浓度等特性,并考察了高温热处理对晶体特性的影响.
莫培根
范向群
周炎德
吴巨
关键词:
GAAS单晶
LEC法
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