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余越

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇曝光机
  • 1篇电子光学
  • 1篇电子束光刻
  • 1篇数据处理
  • 1篇套准精度
  • 1篇微处理机
  • 1篇计算机控制
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体器件
  • 1篇处理机

机构

  • 3篇哈尔滨工业大...

作者

  • 3篇余越
  • 2篇李士章
  • 1篇吕晓明
  • 1篇王树范

传媒

  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇中国计量测试...

年份

  • 1篇1997
  • 1篇1996
  • 1篇1990
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电子束曝光机的误差与数据处理
1997年
本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型，误差的影响与估算．以及误差的综合与数据处理。
李士章冯友彬余越
关键词：电子束曝光机数据处理
半导体器件加工中的精密定位检测
王树范吕晓明余越
关键词：半导体器件半导体工艺电子束光刻计算机控制微处理机
电子束曝光机的加工精度被引量：1
1996年
电子束曝光机的加工精度李士章，冯友彬，余越（哈尔滨工业大学电子束技术研究室）０引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国ＩＢＭ公司就用ＳＡ直径的电子束加工出８０Ａ线宽、１００人厚的金属结构，其本身就是超导量子干涉器件。因此...
李士章冯友彬余越
关键词：电子束曝光机套准精度
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共1页<1>
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