亓东平
- 作品数：10 被引量：64H指数：5
- 供职机构：山东师范大学物理与电子科学学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省科委基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 光散射的镜面反射分量与随机表面高度分布的表征被引量：1
- 2003年
- 从理论上分析了随机表面散射光强的镜面分量与表面高度概率分布的关系。表面高度分布的提取需要用到镜面反射分量的振幅和相位。由镜面反射分量的强度随波矢量的垂直分量变化的实验数据恢复光波的相位,实现了表面高度概率分布的光散射表征。相位的恢复采用了Gerchberg-Saxton迭代算法。实验上分别对具有Gauss高度分布和准二值高度分布的两个样品进行了高度概率的测量,测量结果与原子力显微镜的测量相吻合。这对于随机表面的非接触标定与研究有重要意义。
- 程传福亓东平滕树云刘曼贾天卿徐至展
- 关键词：光散射原子力显微镜相位恢复光学测量
- 变孔径像面散斑平均光强标定随机表面的理论与实验被引量：3
- 2001年
- 采用随机表面的高斯相关模型和统计光学原理 ,推导出弱散射体在 4f系统中的像面上光强的表达式 .在此基础上提出了均方偏差粗糙度和横向相关长度的标定方法 ,该方法用理论结果对实验测量的像面散斑平均光强随滤波孔半径的关系曲线进行拟合 ,同时测量出被测样品表面的两个统计量 .实验上制作了高斯相关随机表面样品 ,对其表面参数进行了测量 ,与AFM所测结果符合得较好 ,这表明该方法具有较高的精度 .
- 张宁玉滕树云董前民亓东平程传福
- 关键词：统计光学
- 随机散射屏的原子力显微镜形貌分析及其光散射特性被引量：13
- 2000年
- 用原子力显微镜对三种不同粗糙度的随机散射屏的表面形貌进行了测量分析 ,发现它们在短程范围内具有明显的分形特征 .对于粗糙度较大和较小的散射屏 ,分形特征分别以无规则的高度调制和无特征大小的小颗粒的形式存在 .用自仿射分形表面模型对散射屏的统计特性进行了描述和拟合 .光散射测量发现 ,散射光强在远轴区域按负幂函数下降 ,理论分析证明这源于表面的分形结构 ;在近轴区域有散射亮环存在 ,用自仿射分形表面模型尚不能给出理论解释 .
- 亓东平刘德丽滕树云张宁玉程传福
- 关键词：光散射原子力显微镜形貌分析
- 频率域数字散斑相关方法的研究被引量：12
- 2000年
- 提出一种利用二维快速傅里叶变换 (FFT)经频率域匹配滤波实现数字相关运算以提取散斑图携带位移信息的频率域数字散斑相关方法。该方法因采取快速傅里叶变换、散斑限幅、滤波器优化等措施而减弱了空间域相关方法中不利因素对相关波峰的影响 ,提高了相关点定位的时效性和精确性。
- 亓东平滕树云程传福
- 关键词：相关滤波器频率域
- 动态白光数字散斑计量术与频率域数字相关方法的研究
- 该文以散斑计量及其信息提取方法为主要研究内容,在计量方法的研究方面提出动态白光数字散斑计量术,并完成了相应的实验系统的研制;在散斑信息提取方面,提出了频率域数字相关方法.
- 亓东平
- 关键词：信息提取图像识别
- 频率域数字散斑相关法及其应用被引量：9
- 2000年
- 在图象识别原理的基础上 ,提出频率域数字散斑相关法 ,该方法在频率域物体变形前后散斑图对应子区域的相关搜索 ,完成测量物体的变形位移。该法与常用的空间域数字相关法相比 ,避免了相关识别中的反复搜索 ,极大地减小了运算量 ,提高了信息提取速度 ,并且具有更高的定位精度和测量精度。文章最后给出了典型测试结果。
- 周灿林亓东平
- 关键词：数字散斑图象识别
- 弱散射屏的像面散斑自相关函数特性的实验研究被引量：7
- 2001年
- 在对随机弱散射屏进行表面参数的原子力显微镜测量和建立了门积分取样平均的随机光强自相关函数测量系统的基础上 ,对弱散射屏在严格像面和离焦像面上产生的散斑自相关函数进行了测量。发现在严格像面上 ,散斑平均颗粒的大小随表面粗糙度增加而减小 ,且光强自相关函数次极大的相关间隔宽度随粗糙度增加而减小 ;而次极大的起伏随粗糙度的增大而增大 ;在离焦像面上 ,离焦量的增加使光强的自相关函数下降变得平滑 ,并使极小值点和次极大点变得不明显或者消失。
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- 关键词：自相关函数
- 高斯相关随机表面及其光散射散斑场的模拟产生和光强概率分析被引量：24
- 1999年
- 提出了模拟产生高斯相关随机表面的方法，并模拟产生了这类表面在夫琅禾费面上产生的散斑场．以模拟产生的１００００ 个随机表面作为表面样本系综，对具有不同粗糙度和横向相关长度的表面系综在夫琅禾费面上各点产生的散斑光强系综的概率密度分布进行了分析．发现：（１） 散斑场的高斯和非高斯特性在空间上按一定的区域分布，并非整幅散斑图皆为高斯或非高斯散斑；（２） 散射表面只包含少数散射颗粒时也可以形成高斯散斑．
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- 关键词：散斑场
- 表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究被引量：5
- 1999年
- 提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法，通过散射光强中心亮点光能量的对数ｌｎＥδ随ｋ２⊥变化的线性关系来确定粗糙度ｗ，对６块粗糙度不同的硅片背面样品进行了实验测量。
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- 关键词：光散射粗糙度测量法
- 动态白光数字散斑计量术
- 2000年
- 提出了动态白光数字散斑计量术 ,并研制了相应的实验测量系统。在系统启动脉冲的触发下 ,动态白光数字散斑计量系统中物体动态加载、脉冲白光光源照明、数字散斑图像采集等过程依次完成。该系统可通过延时调节 ,对可重复动态过程的位移演化进行全过程测量。
- 亓东平程传福滕树云刘德丽
- 关键词：激光
