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一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法: 一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法，涉及一种硬质涂层的制备方法。基体预处理：将硬质合金基体研磨，抛光后清洗，烘干待用；先进行预溅射后，再进行溅射沉积。采用磁控溅射法通过控制溅射沉积的气氛、基体温度以及基体偏压等工艺条件在...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍; 文献传递

ZrSiN纳米涂层制备及其性能研究: 应用直流与射频共溅射技术制备ZrSiN纳米涂层,通过改变Si靶溅射功率控制涂层中Si含量。运用X射线衍射、电子探针显微分析、纳米压痕、球-盘磨损试验机研究了不同Si含量对ZrSiN涂层的物相结构、成分、晶粒大小、硬度以及...; 黄若轩孙鹏朱芳萍祁正兵王周成; 关键词：涂层磨损; 文献传递

在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法: 在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法，涉及一种硬质合金。提供一种采用磁控溅射法，在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法。在经过机械抛光、超声清洗以及离子源清洗处理过的硬质合金基体表面，采用直流和...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍

一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法: 一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法，涉及一种硬质涂层的制备方法。基体预处理：将硬质合金基体研磨，抛光后清洗，烘干待用；先进行预溅射后，再进行溅射沉积。采用磁控溅射法通过控制溅射沉积的气氛、基体温度以及基体偏压等工艺条件在...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍

在硬质合金基体表面制备纳米结构氮硅锆涂层的方法: 在硬质合金基体表面制备纳米结构氮硅锆涂层的方法，涉及一种硬质合金。提供一种在硬质合金基体表面制备纳米结构氮硅锆涂层的方法。采用直流和射频反应共溅射法，通过控制Si靶功率制备纳米结构氮硅锆硬质涂层。当ZrSiN涂层中Si含...; 王周成黄若轩祁正兵孙鹏朱芳萍; 文献传递

Zr_(1-x)Si_xN纳米涂层的制备及其力学性能被引量：2: 2010年; 采用直流与射频共溅射技术制备Zr1-xSixN纳米涂层。通过改变Si靶溅射功率控制涂层中Si含量,研究了不同Si含量对Zr1-xSixN涂层的物相结构、晶粒尺寸、硬度和摩擦磨损性能的影响,探索了Zr1-xSixN纳米涂层的致硬机理。结果表明:Si的掺入影响Zr1-xSixN涂层的择优取向和相结构,随着Zr1-xSixN涂层中Si含量的增加,涂层截面的形貌由柱状晶转变为非柱状等轴晶,其结构的变化为:固溶体→nc-ZrN/α-Si3N4结构→非晶结构。涂层的晶粒尺寸在12～30nm之间。对于Si含量低于3.14%(摩尔分数)的Zr1-xSixN涂层,由于固溶强化作用使硬度随Si含量增加而增大,对于Si含量高于3.14%的Zr1-xSixN涂层,通过晶粒的转动和原子在晶界的移动能产生塑性形变,提高了涂层塑性形变能力,使得硬度下降。Zr1-xSixN涂层的耐磨损性能随Si含量的增加而增强。; 黄若轩孙鹏朱芳萍祁正兵王周成

在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法: 在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法，涉及一种硬质合金。提供一种采用磁控溅射法，在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法。在经过机械抛光、超声清洗以及离子源清洗处理过的硬质合金基体表面，采用直流和...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍; 文献传递

氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响被引量：10: 2011年; 利用磁控溅射方法,通过改变氮气流量制备出ZrN纳米涂层,研究了氮气流量对ZrN纳米涂层结构及硬度的影响,并采用表面轮廓仪、X射线衍射仪、扫描电镜及纳米压痕表征了ZrN纳米涂层的厚度、相结构、形貌及硬度.实验结果表明,随着氮气流量增加,涂层厚度减小,涂层择优取向由(111)变为(200),对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构;传统的位错滑移机制不适用于ZrN纳米涂层的塑性变形,其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加.; 黄若轩孙鹏朱芳萍祁正兵王周成; 关键词：磁控溅射取向性

沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响被引量：3: 2010年; 利用磁控溅射方法通过改变沉积温度(Ts)制备一系列纳米ZrN涂层.采用X射线衍射、扫描电镜及CSM纳米力学综合测试系统表征了纳米ZrN涂层的物相结构、截面形貌及综合力学性能,系统研究了沉积温度对纳米ZrN涂层结构及性能的影响.实验结果表明:随着沉积温度的增加,涂层择优取向由(111)变为(200),而在600℃时结晶度很低;涂层择优取向的变化是由涂层沉积过程中原子迁移能力和不同取向表面能的差异所决定的.纳米ZrN涂层在Ts=450℃及以下温度区间为柱状结构,并随沉积温度增加柱状晶逐渐变宽,在Ts=600℃时,由于生长方式的改变使涂层变为非柱状等轴结构.纳米ZrN涂层的硬度在Ts=450℃及以下温度区间没有明显变化,但在Ts=600℃时,由于涂层结晶度以及位错密度降低导致涂层硬度下降.随沉积温度的增加,涂层与基体间结合力先减小后增大.纳米ZrN涂层的磨损率由硬度和膜基结合力共同作用决定.; 黄若轩祁正兵孙鹏朱芳萍王周成; 关键词：ZRN 涂层取向性

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黄若轩