黄玉波
- 作品数：14 被引量：32H指数：3
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术被引量：8
- 2006年
- 针对MEMS(micro electro mechanicalsystem)和NEMS(nano electro mechanicalsystem)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点,而且消除了其系统误差.使用ANSYS对测试结构进行了模拟和优化,对于30nm厚的薄膜,应力检测的分辨率为1.5MPa,优于目前国际上的相关报道.本测试结构使用各向异性腐蚀和DRIE(deepreactiveionetching)完成,加工工艺简单实用.文中使用该测试技术对常用MEMS薄膜的残余应力进行了测量,结果与其他测试方法得到的结果基本一致,测量重复性优于1%.该技术可以用于测试纳米级薄膜及超低应力薄膜的内应力.
- 王莎莎陈兢栗大超黄玉波李志宏
- 关键词：微机械系统内应力
- 微纳结构3D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法
- 一种微纳结构3D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法，包括有如下步骤：对被测表面进行相移显微干涉测量，将干涉图保存下来；在相位解包裹之前将非数据区域和非相容点标记于模板中；在基于广度优先搜索的相位解包裹运算过程中绕过非数据...
- 栗大超黄玉波傅星胡小唐
- 文献传递
- 微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法
- 一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，是由如下过程完成的：1.采集被测物表面干涉图，得到被测物表面初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被...
- 栗大超黄玉波傅星胡小唐
- 文献传递
- MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法
- 相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用...
- 黄玉波栗大超胡小唐胡春光张文栋徐临燕
- 关键词：边缘检测
- 文献传递
- 微纳结构3D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法
- 一种微纳结构3D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法，包括有如下步骤：对被测表面进行相移显微干涉测量，将干涉图保存下来；在相位解包裹之前将非数据区域和非相容点标记于模板中；在基于广度优先搜索的相位解包裹运算过程中绕过非数据...
- 栗大超黄玉波傅星胡小唐
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- MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法被引量：3
- 2006年
- 相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开.
- 黄玉波栗大超胡小唐胡春光张文栋徐临燕
- 关键词：边缘检测
- 基于弯曲测试的纳米结构机械力学特性的表征被引量：1
- 2006年
- 利用原子力显微镜对聚焦离子束刻蚀技术制备的不同纵横比的氮化硅纳米梁结构进行了弯曲测试,并讨论了一种标定原子力显微镜微悬臂梁弹簧常数的方法.实验中严格界定了欧拉细长梁的条件,在分析了纳米梁组纵横比对测试结果影响的基础上,讨论了如何修正弯曲测试结果.弯曲测试得到了纳米梁的平面模数,并进一步推算氮化硅材料的杨氏模量.测试结果验证了基于原子力显微镜系统的弯曲方法测试纳米薄膜材料杨氏模量的可行性.
- 徐临燕栗大超胡小唐张海霞黄玉波
- 关键词：原子力显微镜力学性能杨氏模量
- 测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法被引量：6
- 2007年
- 提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值。实验结果表明:使用该方法可获得弯曲量测量值和解析值之间的均方根差值在1.5 nm以内的精确曲率值,并且一定的像素偏移带来的误差对曲率测量的结果影响很小。由于方法保留了光学干涉法高分辨率及高精度等优点,并考虑了非理想边界条件的影响,在MEMS残余应力和应力梯度测量中具有较大实用价值。
- 黄玉波栗大超胡小唐傅星张文栋胡春光
- 关键词：有限差分法拟牛顿算法最小二乘法
- 基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法
- 本发明公开一种基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法，是由如下过程完成：第一步，应用相移显微干涉法测量被测微/纳悬臂梁的表面弯曲数据；第二步，应用有限差分法解析出被测微/纳悬臂梁的弯曲量；第三步，将第一步得到...
- 栗大超黄玉波傅星胡小唐
- 文献传递
- 微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法
- 一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，是由如下过程完成的：1.采集被测物表面干涉图，得到被测物表面初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被...
- 栗大超黄玉波傅星胡小唐
- 文献传递
