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高钧

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇生物芯片
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇锐化
  • 1篇微细加工
  • 1篇微细加工工艺
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机械结构
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇硅
  • 1篇场致发射

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇王理明
  • 3篇高钧
  • 2篇林云生
  • 2篇张春野
  • 1篇吴岚军
  • 1篇刘鸿
  • 1篇王珺
  • 1篇闫献勇

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
硅微尖端的研制和应用
利用半导体微细加工工艺,在硅片上制作出高150μm、尖端直径小于1μm的硅尖端阵列.还成功地研制了高1.5μm、尖端直径小于0.2μm的场致发射硅微尖端,并测试了其三级管特性.为了使每个尖端更加尖锐,除采用电子束曝光、反...
高钧王理明
关键词：场致发射反应离子刻蚀电子束曝光锐化微细加工工艺
文献传递
生物芯片点样仪
吴岚军王理明张春野闫献勇王珺高钧刘鸿林云生
生物芯片点样仪采用合成点样法直接点样的技术原理。承载玻片和样品盒的平台固定不动，X，Y轴带动点样头作平面运动，Z轴带点样头作上下运动，完成沾样和点样运动。该仪器具有样品种类多，点样精度高，点样稳定性好，制造技术较为成熟，...
关键词：
关键词：生物芯片
几种生物芯片点样仪机械结构的对比被引量：2
2002年
生物芯片点样仪生产厂家针对不同客户的需求,可以提供不同特性的产品。就市场上最常见的生物芯片点样仪生产厂家Genemachine,Biorobotics和Cartesian生产的四种生物芯片点样仪的机械结构做了介绍、分析和对比。在此基础上,研发出DY-2001型生物芯片点样仪。该机在整体性、占地面积、空间利用率、刚性、精度以及便于维修等方面做了全面考虑,不足之处是总重量稍大。
张春野王理明高钧林云生
关键词：生物芯片
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