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马欣涛

作品数:3 被引量:34H指数:3
供职机构:江苏大学机械工程学院更多>>
相关领域:电子电信冶金工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇微成形
  • 2篇MEMS
  • 1篇掩模
  • 1篇注射成型
  • 1篇脱模
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇微细结构
  • 1篇微型机械
  • 1篇喂料
  • 1篇细粉
  • 1篇金属
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻掩模
  • 1篇粉末
  • 1篇LIGA
  • 1篇超细
  • 1篇超细粉
  • 1篇超细粉末

机构

  • 3篇江苏大学

作者

  • 3篇马欣涛
  • 3篇戴亚春
  • 2篇王匀
  • 2篇周建忠
  • 1篇胡增荣

传媒

  • 1篇机床与液压
  • 1篇模具工业
  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 2篇2006
  • 1篇2005
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
MEMS的微细加工技术被引量:16
2006年
介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法:光刻掩模、高能束刻蚀(激光刻蚀)和LIGA技术等加工方法。对这些技术的发展趋势进行了展望。指出微器件的推广和应用,是和微器件的加工方法密不可分的,特别是随着激光加工技术在微机械加工领域的推广和应用,微器件的加工工艺水平和加工质量会有更大的提高。
戴亚春周建忠王匀马欣涛
关键词:微型机械微成形MEMS光刻掩模LIGA
微型模具及微成形技术的发展被引量:7
2005年
这里阐述了微型模具及微成形技术的基本概念和研究现状,介绍了微型模具制造的原理和技术以及微成形技术的特点,最后提出了该技术领域需要解决的一些关键技术问题和发展趋势。
马欣涛周建忠戴亚春
关键词:微成形MEMS
用超细粉末注射成型金属微细结构的方法被引量:11
2006年
研究了采用μPIM(超细粉末注射成型)成型316L型不锈钢微细结构的方法。采用2种不同的模具型腔在普通注塑机上注射成型,根据不同的型腔尺寸和原料特性确定合适的成型参数,这些参数包括:相关的模具温度、注射压力和保压压力等。结果显示,316L型不锈钢在成型100μm×200μm微细结构时可以成型,但是在成型60μm×191μm微细结构时会出现充模不足和脱模困难等问题。成型的制品完全可以成功脱模并烧结。
戴亚春王匀董芳马欣涛胡增荣
关键词:超细粉末注射成型喂料微细结构脱模
共1页<1>
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