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陈欣

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇传感
  • 3篇电容式
  • 3篇电容式传感器
  • 3篇调平
  • 3篇阵列
  • 3篇球心
  • 3篇感器
  • 3篇测量力
  • 3篇触觉
  • 3篇传感器
  • 3篇传感器阵列
  • 2篇载物台
  • 2篇三维高精度
  • 2篇俯仰
  • 2篇测量方法
  • 2篇测头
  • 1篇物镜
  • 1篇显微物镜
  • 1篇共聚焦
  • 1篇光孔

机构

  • 6篇上海市计量测...

作者

  • 6篇陈欣
  • 6篇李源
  • 4篇雷李华
  • 4篇吴俊杰
  • 3篇毛辰飞
  • 3篇范国芳
  • 2篇王丽华
  • 1篇简黎
  • 1篇吴佳欢
  • 1篇蔡潇雨
  • 1篇傅云霞
  • 1篇魏佳斯

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
本实用新型为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感...
吴俊杰李源范国芳陈欣雷李华毛辰飞
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一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置
本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上，Z向平移台上安装载物台，载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中，测量装置的控制信号和多测头系...
李源陈欣雷李华王丽华
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一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位...
吴俊杰李源范国芳陈欣雷李华毛辰飞
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一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位...
吴俊杰李源吴佳欢简黎范国芳陈欣雷李华毛辰飞
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共聚焦三维测量装置及其多孔径尼普科夫圆盘
本发明涉及一种共聚焦三维测量装置及其多孔径尼普科夫圆盘，由于在多孔径尼普科夫圆盘上至少设有一个环形的扫描带，不同的扫描带中的透过孔的直径不同，这样，就可以根据显微物镜的放大倍率而选择具有合适直径的透光孔的扫描带来过滤和聚...
吴俊杰李源蔡潇雨魏佳斯陈欣傅云霞
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一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置
本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上，Z向平移台上安装载物台，载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中，测量装置的控制信号和多测头系...
李源陈欣王丽华
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