陈斌
- 作品数：14 被引量：45H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学化学工程电子电信更多>>
- 球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率被引量：5
- 2011年
- 由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法。根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额。使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线。实验结果表明,入射角为15°时的量子探测效率约为入射角为0°时的5倍。
- 尼启良韩素立陈斌王海峰
- 大气遥感远紫外光谱仪绝对光谱辐照度响应度定标方法研究被引量：2
- 2013年
- 主要针对可应用于空间高层大气遥感的远紫外光谱仪的光谱辐照度响应度定标方法进行研究。针对远紫外波段光谱测试标准装置少,实验系统所需真空度高,实验稳定性难以维持,传统漫反射板和积分球辐亮度定标方法在远紫外波段局限性大、难以利用等特点,研究了适用于远紫外光谱仪器的光谱辐照度绝对辐射定标方法,搭建了相应的真空实验系统,以一台远紫外光谱仪原理样机为对象对研究方法进行了实验验证。实验系统以标准氘灯、真空紫外单色仪和准直系统组成照射系统,将出射准直光辐照度用标准探测器进行标定,三者共同组成了标准光谱辐照度光源;利用该光源照射原理样机并读出相应信号,最终获得光谱辐照度响应度,从而实现了利用标准探测器进行照度传递的远紫外光谱仪器绝对光谱辐射定标,有效的进行了仪器定标。该方法定标不确定度约为7.7%,对远紫外波段空间高层大气遥感光谱仪的地面辐射定标研究具有重要意义。
- 于磊林冠宇陈斌
- 关键词：电离层辐射定标
- FP500型超精密锡磨盘平面研抛机的研制被引量：4
- 2000年
- 为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖 ,为提高加工精度及重复精度 ,研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体 ,可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛机总体设计方案 ,主要包括机床的结构及精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。
- 高宏刚陈斌陈琦
- 关键词：超精密机床研磨抛光
- 一种超高亮度微显示器件的研究
- 梁静秋王维彪朱万彬梁中翥王波王淑荣陈斌裴舒金霞李佳
- 超高亮度微显示器件成果属于显示技术领域，本成果以MEMS技术为基础，采用湿法腐蚀方法在AlGaInP发光芯片上制备LED集成阵列，解决了高深宽比隔离沟槽的制备难题，制作了小体积、低功耗和高密度像素的LED微显示器件。实际...
- 关键词：
- 关键词：显示器件LED超高亮度
- Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的加工被引量：2
- 2011年
- 针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型。分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数的影响,通过实验获得了驻留时间和去除函数中心去除深度的关系。采取两步加工法控制研抛后的表面质量,分析表明:当磨头-工件角速度比为1.41时,反射镜的表面质量最好。介绍了计算机控制光学表面成形(CCOS)法加工Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的过程。选择微晶玻璃为反射镜的镜胚,在自行研制的研抛设备上,以不同粒径的氧化铈作为抛光液,对金刚砂砂轮粗磨后的工件进行抛光。通过改变磨头相对工件的压入深度,获得不同大小的磨头去除区域,实现了对上一个抛光周期后的残留误差的有效去除。最终获得的反射镜面形精度为PV:1.39μm,RMS:0.34μm,圆度均方根误差优于0.1μm。实验结果表明:提出的两步法旋偏加工方案可用于掠入射反射镜的加工。
- 王永刚崔天刚马文生陈斌陈波
- 掠入射X射线散射法测量超光滑表面被引量：6
- 2010年
- 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。
- 王永刚孟艳丽马文生陈斌陈波
- 关键词：超光滑表面微扰理论
- 柔性悬臂微机械光开关制作方法
- 本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射...
- 梁静秋钟砚超梁中翥陈斌孙德贵
- 文献传递
- 球面反射式日冕仪实验装置的杂光分析和实验验证被引量：2
- 2015年
- 研究了拉曼阿尔法反射式日冕仪的成像与杂光分布水平,以期获得可靠的杂散光测量方法。根据日冕仪和反射式日冕仪的设计原理,设计并加工了一种新型球面反射式日冕仪实验装置,用于观测太阳在太阳半径（R⊙）为1.3~2.5R⊙时的拉曼阿尔法波段日冕的辐射。对该实验装置进行了成像分辨率测试,结果显示该实验装置的空间分辨率为17.96lp/mm,与设计结果相吻合。使用Trace pro软件建立了日冕仪的仿真模型,在零度视场情况下对比了仿真模型和该实验装置获得的子午方向上的杂光分布,得到了该日冕仪实验装置的系统杂光点源透射率（PST）曲线,通过计算得知相应的杂光系数为0.278。文中亦对该实验装置的杂散光来源进行了分析。
- 李达刘鹏陈斌王晓光陈波
- 关键词：光学设计杂散分析
- 弹性球状小磨头加工WolterⅠ型掠入射反射镜的去除函数被引量：5
- 2011年
- 提出用弹性球状小磨头以旋进方式加工WolterⅠ型反射镜的柱面内表面,根据Preston方程、Hertz接触理论和掠入射反射镜特殊的柱面结构,推导出基于旋偏动模式的磨头去除函数理论模型。实验结果表明,理论去除函数曲线与实验曲线的均方根距离偏差σ为0.101 22μm,偏差比值κ为9.8%。分析验证了不同旋偏角对去除函数的影响并与理论模拟结果进行了比较。结果显示,随着旋偏角的增大,最大去除值位置逐渐向y轴正方向偏移。不同的旋偏角,最大理论去除深度与最大实际去除深度的均方根偏差为0.201μm;最大理论去除位置与最大实际去除位置的均方根偏差为0.255 mm。旋偏角越大,材料去除量就越多,去除函数也越显对称。实验结果很好地验证了去除函数理论模型的准确性,该模型可指导WolterⅠ型掠入射反射镜的加工,实现确定性材料去除。
- 王永刚崔天刚马文生陈斌陈波
- 关键词：去除函数赫兹接触理论
- 光学非球面超精密磨削质量控制技术研究被引量：1
- 2006年
- 对光学非球面超精密磨削技术和表面加工质量控制技术进行了理论分析和实验研究。通过对MSG-325金刚石超精密车床的技术改造，可以对各种光学表面进行超精密磨削加工，尤其适合于光学非球面的超精密加工，在较短时间直接达到光学零件的表面质量要求。采用改造的磨削系统，加工出左端为抛物面，右端为双曲面的微晶玻璃内非球面，加工表面粗糙度Ra3nm。
- 程延江胡忠辉马文生陈斌张志
- 关键词：超精密磨削非球面加工微晶玻璃
