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邱海军
作品数:
99
被引量:24
H指数:3
供职机构:
京东方科技集团股份有限公司
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国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
王章涛
北京京东方光电科技有限公司
闵泰烨
北京京东方光电科技有限公司
赵继刚
北京京东方光电科技有限公司
闵泰烨
京东方科技集团股份有限公司
刘翔
北京京东方光电科技有限公司
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一种TFT阵列结构及其制造方法
本发明公开了一种TFT阵列结构,包括:一基板;一栅线和与其一体的栅电极,栅线和栅电极的上方依次覆盖有栅绝缘层、半导体层和欧姆接触层;一绝缘层,形成在栅线及栅电极、栅绝缘层、半导体层和欧姆接触层的两侧;一沟道,截断欧姆接触...
王章涛
邱海军
闵泰烨
林承武
文献传递
一种双栅型像素结构、显示面板及显示装置
本发明公开了一种双栅型像素结构、显示面板及显示装置,相当于将现有技术中位于同一亚像素组中沿行方向相邻的两个亚像素设置为列方向排列。这样在显示面板像素相同且显示区域面积相同的条件下,本发明提供的双栅型像素结构中各亚像素沿行...
汪锐
邱海军
尚飞
金在光
李少茹
文献传递
一种制备有源驱动TFT矩阵中金属连线的方法
本发明提供了一种制备有源驱动TFT矩阵中金属连线的方法,包括如下步骤:首先,在衬底上均匀涂敷上一层负性光刻胶,通过曝光显影,使保留下来的负性光刻胶有倒梯形的截面;然后,在衬底和负性光刻上连续沉积所需要的金属层;最后,采用...
王章涛
邱海军
陈旭
闵泰烨
林承武
文献传递
TFT-LCD阵列基板及其制造方法
本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法,制造方法包括:在基板上沉积栅金属层,通过第一次构图工艺形成栅电极和栅线图形;连续沉积栅绝缘层、半导体层、掺杂半导体层和源漏金属层,通过第二次构图工艺形成源电极、漏电极、数...
王章涛
邱海军
刘翔
文献传递
液晶阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究
被引量:5
2008年
光刻胶的灰化是TFT四次光刻工艺的核心工艺之一,本文研究了TFT四次光刻工艺中光刻胶的灰化工艺,得到了功率、气压、灰化气体对光刻胶灰化速率和均匀度的影响趋势。研究表明,纯O2气体对光刻胶有很好的灰化作用,但其会导致下一层金属Mo的表面发生氧化,从而阻止下层金属的刻蚀。在灰化气体中加入少量SF6,能有效地去除生成的金属氧化物,提高下层金属的刻蚀速率。在优化的灰化工艺条件下,制作的TFT具有良好的电学特性。
刘翔
王章涛
崔祥彦
邓振波
邱海军
关键词:
薄膜晶体管
灰化
光刻胶
面板及面板的制造方法
本发明涉及一种面板及面板的制造方法,其中,面板的制造方法包括:在基板上完成薄膜晶体管阵列和周边图形的制作,形成阵列基板;在所述阵列基板的四周涂覆主封框胶,主封框胶中未掺杂金球;在所述主封框胶的外侧涂覆次封框胶,与所述主封...
王章涛
闵泰烨
邱海军
高文宝
文献传递
一种液晶显示器阵列基板的像素结构及其制造方法
本发明公开了一种液晶显示器阵列基板的像素结构,包括玻璃基板,形成于玻璃基板上的栅线,栅电极,数据线,源电极,漏电极,掺杂层,有源层,第一绝缘层,第二绝缘层,透明像素电极,钝化层,其特征在于:透明像素电极和栅线、栅电极之间...
邱海军
王章涛
陈旭
闵泰烨
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一种像素排布结构及相关装置
本实用新型公开了一种像素排布结构及相关装置,其中,第一子像素位于第一虚拟矩形的中心位置处和第一虚拟矩形的四个顶角位置处;第二子像素位于第一虚拟矩形的侧边中心位置处;第三子像素的形状为凹多边形或由曲线构成的图形且位于第二虚...
邱海军
汪杨鹏
王本莲
尹海军
王杨
胡耀
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液晶显示器阵列基板及其制造方法
本发明涉及一种液晶显示器阵列基板及其制造方法。制造方法包括:在基板上形成包括栅线、栅电极和有源层的结构图形;形成包括数据线、源电极、漏电极和TFT沟道区域的结构图形,其中所述数据线的两侧为防止静电聚集的斜坡状或阶梯状;形...
邱海军
王章涛
闵泰烨
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一种薄膜晶体管
本发明提供了一种薄膜晶体管,涉及场效应晶体管领域,该薄膜晶体管的宽长比较大,有利于提高开态电流。一种薄膜晶体管,包括栅极、源极和漏极,所述源极包括具有开口的环形,沿第一方向所述开口的宽度最大,且所述开口的最大宽度小于所述...
王武
邱海军
尚飞
王国磊
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