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赵毅
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117
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浙江大学
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合作作者
陈冰
浙江大学
张睿
浙江大学
杨德仁
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
魏娜
浙江大学
阙端麟
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
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赵毅
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一种制备高性能半导体场效应晶体管器件的方法
本发明公开了一种制备高性能半导体场效应晶体管器件的方法,该方法首先在半导体衬底上定义源极和漏极区域,对源极和漏极区域进行刻蚀,分别形成凹槽;通过常温或低温物理气相沉积在刻蚀好的凹槽中沉积半导体材料作为源极和漏极;其次通过...
张睿
赵毅
阻式存储器的误码率测试方法
本发明公开了一种阻式存储器的误码率测试方法。存储器的商业化应用需要保证极低的误码率,这一测试需要重复大量的擦写过程并进行分析,从而需要大量的时间,因此对此过程进行加速是有意义的。本发明利用任意波形发生器调节读取波形的长度...
赵毅
高世凡
陈冰
文献传递
一种应用于晶体管的高速三维电学特性测试系统
本发明公开了一种应用于晶体管的高速三维电学特性测试系统,该系统包括数据反馈与处理器、波形处理器、宽频带拾捡三通装置、第一微波探针和第二微波探针。本发明的创新在于通过给晶体管的漏极施加阶梯变化的电压波形,并在每个阶梯电平中...
赵毅
曲益明
陈冰
卢继武
韩菁慧
文献传递
一种应用于半导体器件的皮秒级超快速电学特性测试系统
本发明公开了一种应用于半导体器件的皮秒级超快速电学特性测试的系统。该系统包括波形处理器、宽频带电压放大器、宽频带电压偏置器、宽频带拾捡三通装置、第一微波探针和第二微波探针。本发明的创新在于通过给电子器件施加皮秒级的脉冲序...
赵毅
张睿
卢继武
曲益明
文献传递
一种叠层式多晶硅场效应晶体管器件的制造方法
本发明公开了一种叠层式多晶硅场效应晶体管器件的制造方法。首先在绝缘衬底上依次交替沉积隔离层薄膜和非晶硅薄膜,形成隔离层薄膜和非晶硅薄膜的叠层结构;其次刻蚀隔离层薄膜和非晶硅薄膜形成器件的沟道区域,并在沟道区域两侧沉积重掺...
张睿
曾思雨
赵毅
文献传递
一种基于RRAM的乘法器及其操作方法
本发明公开了一种基于RRAM的乘法器及其操作方法。基于RRAM的乘法器包括:RRAM阵列、放大器、RS触发器阵列和加法器模块。1)将所有BL线置‑1V,所有WL线置1V,持续1ns,将被乘数和乘数分别加在BL[7:0]、...
朱晓雷
周旋
陈冰
赵毅
文献传递
一种提高半导体器件皮秒级超快速电学特性测试精度的方法
本发明公开了一种提高半导体器件皮秒级超快速电学特性测试精度的方法,属于半导体器件电学特性测试领域,该方法包括对金属氧化物半导体场效应晶体管电学特性测试时的栅极激励信号(V<Sub>g</Sub>)和示波器得到的响应信号(...
赵毅
韩菁慧
陈冰
曲益明
张睿
文献传递
三维锗及锗硅垂直沟道晶体管的制备方法
本发明公开了三维锗及锗硅垂直沟道晶体管的制备方法,锗及锗硅垂直沟道晶体管基于积累模式工作,其结构包括三部分:垂直沟道、环绕型栅极和源漏,其中,垂直沟道采用锗纳米柱或垂直环形纳米薄膜,垂直环形纳米薄膜选自锗或锗硅,栅极环绕...
赵毅
魏娜
陈冰
文献传递
一种改善工作稳定性及存储窗口的阻变存储器及制备方法
本发明公开了一种改善工作稳定性及存储窗口的阻变存储器及制备方法,存储器单元自下而上分别为底电极、下阻变层、氧化物缓冲介质层、上阻变层,顶电极。制备方法为:在制作底电极之后生长下阻变层对应金属,然后通过化学气相淀积、原子层...
赵毅
沈阳
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一种柔性存储器及制造方法
本发明一种柔性存储器,包括两个柔性基底,在柔性基底上方依次设有柔性霍尔器件层、粘结层、柔性位导线层、粘结层、柔性字导线层、粘结层、柔性基底;所述的柔性霍尔器件层上的霍尔器件为有磁滞效应的记忆型器件。最后封装形成柔性磁随机...
赵毅
施毅
叶向东
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