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赵宇

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇制程
  • 3篇控制程序
  • 2篇数据传输
  • 2篇通讯接口
  • 2篇驱动电路
  • 2篇接口
  • 2篇晶片
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇分配泵
  • 1篇电机
  • 1篇旋转电机
  • 1篇手臂
  • 1篇丝杠
  • 1篇片盒
  • 1篇专用机械手
  • 1篇控制过程
  • 1篇控制装置
  • 1篇机械手
  • 1篇减速器

机构

  • 4篇沈阳芯源微电...

作者

  • 4篇赵宇
  • 3篇张军
  • 3篇刘贺祥
  • 3篇董文博
  • 1篇侯宪华

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法
本发明涉及一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法，该装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机；该方法包括以下步骤：回零点，将升降台运行到片盒基准位；判断上是否有片盒...
张军赵宇董文博刘贺祥
文献传递
一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法
本发明涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法，该装置包括：主控电路，具有执行控制程序的第1处理器，其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第2处理器接收主控电路的控制信号...
赵宇张军董文博刘贺祥
一种晶片传递装置
本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片传递的技术，具体是一种晶片传递装置，它是实现对晶片传递的机械手装置，可解决传统的晶片传递装置传递效率低、传递速度慢等问题。该装置升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传...
侯宪华赵宇
文献传递
一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法
本发明涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法，该装置包括：主控电路，具有执行控制程序的第1处理器，其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第2处理器接收主控电路的控制信号...
赵宇张军董文博刘贺祥
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