薛建强
- 作品数：10 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国船舶重工集团公司第七二五研究所更多>>
- 相关领域：冶金工程一般工业技术化学工程理学更多>>
- 原料粉特征对ITO靶材微观结构的影响被引量：2
- 2020年
- 以ITO气化粉和进口湿法粉作为原始粉,在相同的工艺条件下,制备出ITO靶材,对比研究了两种不同原始粉对烧结后靶材微观结构的影响,结果表明:当在0.6 MPa氧气氛,1 530、1 550℃保温20 h条件下烧结,湿法粉和气化粉靶材密度均较高且差异很小,靶材晶粒尺寸基本相当,气化粉靶材晶内小微粒尺寸较湿法粉小,但小微粒聚集程度高于湿法粉靶材;当在常压氧气氛、1 550℃保温20 h条件下烧结,湿法粉靶材密度高于气化粉的,靶材晶粒尺寸基本相当,存在个别较大晶粒,湿法粉靶材已致密,而气化粉靶材未完全致密化,二者晶内小微粒形貌和尺寸差异仍比较明显,气化粉靶材晶内单独的小微粒尺寸同样较湿法粉的小,但聚集程度仍高于湿法粉的.
- 杨硕薛建强苏摇赵延飞李重理
- 关键词：ITO靶材
- 极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究
- 2018年
- 以平均粒径为50 nm的气化ITO粉体为原料,加入占原料1. 2%的分散剂聚碳酸酯,经球磨、陈腐后再"二次球磨"得到高固含量浆料,而后采用加压注浆成型获得了极高密度坯体。研究了浆料固相含量和粘度的关系,同时研究了浆料固相含量、陈腐时间与坯体密度的关系。将不同密度坯体在较低温度1 530℃和空气(欠氧)气氛中进行烧结,研究了坯体密度对靶材密度的影响规律。结果表明,在1 530℃、欠氧气氛烧结条件下,极高密度ITO坯体(相对密度75%)烧结后可得到外观黑色、相对密度为98. 3%的靶材,其密度远高于其他密度更低坯体所烧结的靶材。
- 杨硕薛建强师琳璞
- 粒径及成型压力对α氧化铝粉体烧结行为的影响被引量：1
- 2020年
- 以D50为0.171μm和0.432μm的α氧化铝粉为原料,采用不同的成型压力制得生坯,并在1450℃进行烧结,研究了粉体粒径和成型压力对α氧化铝粉体烧结行为的影响.D50为0.432μm的粉体,烧结活性较差,成型压力从100 MPa提升到300 MPa,生坯相对密度从54.1%增加到56.6%,烧结体相对密度从93.2%增加到94.9%.D50为0.171μm的粉体,烧结活性较好,成型压力从100 MPa提升到300 MPa,生坯相对密度从51.3%增加到53.8%,但烧结体密度始终在98.6%~98.8%之间,并未产生大的变化.结果表明,提升成型压力对Al2O3粉体烧结行为影响有限,减小粉体粒径、提高粉体烧结活性,才是提高Al2O3陶瓷密度、降低烧结温度的关键.
- 师琳璞赵延飞薛建强张秀勤
- 关键词：粒径
- 不同烧结气氛制备AZO靶材的实验研究被引量：1
- 2012年
- 采用机械混粉、造粒、模压和冷等静压(CIP)成型相结合的功能陶瓷制备工艺制备了AZO靶材,研究了空气、真空及惰性气氛对AZO靶材性能的影响。结果发现,氩气保护烧结法制备的AZO靶材不仅密度高,电阻率达10-4Ω.cm量级,而且该方法还可明显抑制氧化锌的挥发,降低烧结温度,在1320℃的温度下便可制得相对密度为99%、晶粒度在4μm左右的靶材。
- 张秀勤王政红薛建强
- 关键词：AZO薄膜冷等静压惰性气体
- ITO靶材第二相的提取方法与分析
- 2019年
- 通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In_4Sn_3O_(12),B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In_4Sn_3O_(12)和"窄片"In_2SnO_5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。
- 杨硕薛建强师琳璞
- 关键词：ITO靶材
- 陶瓷微球新型直接滴定成型工艺研究
- 2021年
- 以平均粒径为0.1〜0.5 μm的SnO_(2)粉为原料,通过凝胶注模成型制备SnO_(2)浆料,并使用滴定针筒将浆料直接滴定于旋转的金属基超疏水表面,使SnO_(2)液滴在不同条件下的旋转金属基超疏水表面固化成球。研究了液滴尺寸、成型时间、固含量等因素对微球成型的影响规律,结果表明:直接滴定成型的SnO_(2)陶瓷微球的球形度十分理想,球形度大于常规滴定成型法,并且可成型出直径0.1〜0.5 mm的陶瓷微球;微球的球形度随固含量的增加而增大,随液滴尺寸的增加而减小,随固化时间的增加而减小;当液滴尺寸调整为0.05 mm时,使用凝胶注模工艺优化后的固含量为80%的SnO_(2)粉浆,在60℃时干燥固化30 min,该条件下获得的SnO_(2)陶瓷微球具有最高球形度,可达到99.5%;微球球坯烧结前后的表面微观组织结构较为均匀,烧结后可保持完整的球体形状。
- 杨硕苏摇刘汉强薛建强陈凤秋李燕萍
- 关键词：超疏水
- TiO_2纳米管的“兼并”现象及机理分析
- 2011年
- 采用电化学阳极氧化法制备了高度有序TiO2纳米管阵列,并提出纳米管"兼并"的概念。结合FE-SEM分析并验证了Macak等人提出的pH值梯度理论,并在此基础上用双电层理论解释了"兼并"的形成机理,同时解释了初期纳米管管径进一步增大的原因。
- 杨硕刘冠鹏刘喜波薛建强张雪凤
- 关键词：阳极氧化TIO2纳米管
- ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤机理研究
- 本文研究了ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤现象,借助SEM、XRD、EDS和XPS等方法对结瘤机理进行分析.结果表明,Sn02分解生成SnO或许是结瘤产生的内在原因.
- 吴晓飞郗雨林崔晓芳王政红薛建强
- 关键词：半导体薄膜磁控溅射
- 文献传递
- 低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究被引量：1
- 2020年
- 针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。
- 杨硕张大帅薛建强师琳璞赵延飞
- 关键词：凝胶注模氧阻聚
- 几种ITO靶材第二相的分离和特征对比研究被引量：1
- 2020年
- 以来自不同氧化铟锡(ITO)靶材生产企业(编号为进口A、进口B、国产A、国产B、自制A、自制B)的靶材为对比试样,通过将各试样粉碎、过筛和王水腐蚀的方法分离并提取出各靶材的腐蚀产物,本文对腐蚀产物的剩余量、显微形貌、物相组成、失氧率等进行了观察和测试,并进行分析和对比。结果表明:进口靶材晶内小颗粒倾向于聚集、合并,表现为以60~90 nm小颗粒聚集而成的200 nm以上的团簇,而其他靶材小颗粒独立性更强;腐蚀后产物为近等轴状的第二相In4Sn3O12或近等轴状与片状的In4Sn3O12和In2SnO5混合体;各靶材试样的腐蚀量均达到了90%左右,进口靶材试样腐蚀后的第二相余量更多,且加热后第二相粉末出现了1.3%~1.5%的增氧,而其他靶材的增氧率均在1%以下;计算发现,进口靶材的Sn和O含量均略低于国产靶材和自制靶材。
- 杨硕王政红薛建强李凤龙苏摇
- 关键词：ITO靶材
