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苗斌

作品数：48 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 12篇期刊文章

领域

  • 13篇电子电信
  • 13篇理学
  • 11篇自动化与计算...
  • 11篇一般工业技术
  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 17篇换能器
  • 14篇传感
  • 13篇感器
  • 13篇传感器
  • 12篇压电
  • 10篇声换能器
  • 10篇微机械
  • 10篇超声
  • 10篇超声换能器
  • 6篇电极
  • 5篇压电层
  • 4篇悬臂
  • 4篇阵元
  • 4篇光学
  • 4篇衬底
  • 3篇多层结构
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇针尖
  • 3篇微悬臂梁
  • 3篇谐振频率

机构

  • 48篇中国科学院
  • 5篇长春理工大学
  • 4篇中国科学技术...
  • 3篇上海师范大学
  • 3篇山东师范大学
  • 3篇中国科学院长...
  • 2篇上海大学
  • 1篇大连大学
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇天津大学
  • 1篇厦门大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 48篇苗斌
  • 47篇李加东
  • 14篇吴东岷
  • 3篇张轲
  • 1篇刘浩杰
  • 1篇王光华
  • 1篇张秋菊
  • 1篇王飞飞
  • 1篇李淑娴
  • 1篇程晋荣
  • 1篇刘建河
  • 1篇唐艳学
  • 1篇陈颖
  • 1篇魏晓伟
  • 1篇王懋
  • 1篇魏晓玮
  • 1篇潘天龙

传媒

  • 9篇压电与声光
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇上海师范大学...

年份

  • 7篇2024
  • 18篇2023
  • 7篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2019
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
共 48 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
换能器单元、阵列、制备方法及能量设备
本发明公开了换能器单元、阵列、制备方法及能量设备，换能器单元，包括基底结构、振动结构，振动结构包括中心结构；和环结构，环结构沿周向封闭地形成有空缺，空缺在垂直于周向的方向贯通环结构的主体，中心结构设置于环结构的空缺内，中...
周红宇李加东苗斌张玉超王光华张士钦
文献传递
换能结构、换能器、制备方法及设备
本发明公开了换能结构、换能器、制备方法及设备，其中换能结构，包括第一结构、第二结构和连接结构，第二结构具有沿厚度贯通的第二空间，第一结构形成于第二空间内，并且第一结构与第二结构之间形成有第一间隙，连接结构至少包括第一连接...
张玉超李加东苗斌周红宇王光华张士钦
文献传递
一种湿法腐蚀装置
本申请公开了一种湿法腐蚀装置，包括腐蚀槽，该腐蚀槽具有一收容空间，所述收容空间内设置有一腐蚀架，所述腐蚀槽相对的两侧分别设有一进液口和一出液口，所述进液口和出液口之间通过循环管道连通，所述循环管道上设置有一循环泵。本新型...
苗斌李加东魏晓伟吴东岷
耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析
2015年
针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法,降低液体表面张力,避免悬臂梁的粘连,成功制备出长为220μm,宽为10μm,厚为220nm的超薄悬臂梁,成品率可达100%。
魏晓玮苗斌李加东吴东岷
倾斜式硅针尖及其制作方法
本发明公开了一种倾斜式硅针尖及其制作方法。所述针尖为三棱锥体，并具有第一倾斜面、第二倾斜面、第三倾斜面和底面，且所述第一倾斜面、第二倾斜面和第三倾斜面中至少两者与底面的夹角不相等。所述制作方法包括：在硅片上采用各向同性的...
李加东苗斌吴东岷
文献传递
PMUT结构及其制备方法
本发明公开了一种PMUT结构及其制备方法，该PMUT结构包括依次层叠设置的衬底、阻隔层、支撑层、下电极、压电层和上电极，所述衬底上设有贯通所述衬底的空腔，所述阻隔层、支撑层、下电极、压电层和上电极共同构成悬于所述空腔上方...
姚术涛李加东苗斌商文玲塔桂峰刘浩杰王丹芮陶金燕
换能器单元、阵列、制备方法及能量设备
本发明公开了换能器单元、阵列、制备方法及能量设备，换能器单元，包括基底结构、振动结构，振动结构包括中心结构；和环结构，环结构沿周向封闭地形成有空缺，空缺在垂直于周向的方向贯通环结构的主体，中心结构设置于环结构的空缺内，中...
周红宇李加东苗斌张玉超王光华张士钦
烟尘传感器
本发明公开了一种烟尘传感器，包括：HEMT单元，包括栅极电极；扩展栅单元，包括支撑体、扩展栅和加热件，所述扩展栅和加热件形成于所述支撑体上，所述扩展栅与所述栅极电极之间分离设置，所述扩展栅提供一烟尘接触面并与所述栅极电极...
何小霞李加东苗斌顾智琦徐瞻王光华
风速风向传感器
本发明公开了一种风速风向传感器，包括：三个支撑臂，每个支撑臂分别具有一支撑面，三个支撑臂的支撑面围成一遮挡空间；三个风速传感芯片，每个所述风速传感芯片分别对应固定于一所述支撑臂上，每个所述风速传感芯片分别包括延伸至所述遮...
徐瞻李加东刁莉娜苗斌胡益民王光华
文献传递
压电微机械超声波换能器及超声探测系统
本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及超声探测系统，该压电微机械超声波换能器包括PMUT单元和挡板，其中，PMUT单元包括形成于衬底上的至少用于发射和接收超声波的PMUT阵元，挡板覆盖于部分PMUT阵元发射超声波的一侧...
商文玲李加东苗斌王丹芮
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