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肖义青

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：山东大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇正交
  • 1篇曝光机
  • 1篇线性校正
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机仿真
  • 1篇仿真
  • 1篇非线性
  • 1篇非线性校正

机构

  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇胡咏梅
  • 1篇姚作宾
  • 1篇肖义青

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
2001年
论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程。通过几种典型的图形分析研究 ,推导出有关的校正函数 ,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证。
姚作宾胡咏梅肖义青
关键词：非线性校正计算机仿真电子束曝光机
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共1页<1>
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