田宁
- 作品数:2 被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
- 相关领域:金属学及工艺更多>>
- 无氧铜真空钎焊密封技术研究被引量:1
- 2010年
- 采用Ga基钎料对TU1无氧铜漏气材料开展真空钎焊堵漏工艺技术研究,对Ga、Ga-In、Ga-Sn、Ga-In-Sn等不同钎料的封接效果进行分析。结果表明在焊接温度600℃、保温时间60min、真空度5×10^(-3)Pa的条件下,可实现小于5×10^(-9)Pa·m^3/s的漏率指标,并形成均匀、连续的焊缝微观组织结构,满足500℃、20 h的烘烤排气热处理工艺。
- 王国建许芳孙东田宁周雅松
- 关键词:真空钎焊气密性
- 精密连接——真空扩散焊和过渡液相连接的实验研究被引量:2
- 2014年
- 针对新型电真空器件研制过程中的精密连接要求,进行了无氧铜真空扩散焊、过渡液相连接工艺实验。并应用氦质谱检漏仪、测量显微镜、金相显微镜、扫描电子显微镜对扩散焊试样进行分析,并进行了不同扩散温度、不同扩散时间的对比实验。实验表明:在相同工艺参数下,无氧铜直接扩散连接能获得可靠的扩散焊接头,内部结构变形量1~12μm,漏率5×10-4 Pa·m3s-1,且在相同扩散压力条件下,不能通过提高扩散温度,延长扩散时间的方法获得气密性接头;过渡液相连接接头可达到气密性要求(QL<5×10-9 Pa·m3s-1),变形量5~15μm,镀银层充分扩散到母材中。
- 李海涛刘月清孙东许芳田宁
- 关键词:真空扩散焊电真空器件