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熊万全

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：装甲兵工程学院装备再制造工程系装备再制造技术国防科技重点实验室更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇离子束
  • 1篇离子束辅助
  • 1篇离子束辅助沉...
  • 1篇纳米
  • 1篇SI3N4
  • 1篇超硬
  • 1篇TIN

机构

  • 1篇装甲兵工程学...

作者

  • 1篇蔡志海
  • 1篇谭俊
  • 1篇张平
  • 1篇熊万全
  • 1篇杜月和

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束辅助沉积制备TiN/Si3N4纳米超硬膜的工艺研究
本文采用离子束辅助沉积法在单晶硅片进行沉积制备了TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti/Si靶面积比等工艺参数对TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜性能的影响。并采用纳米硬度计、光电子能谱(XP...
张平杜月和蔡志海熊万全谭俊
关键词：离子束辅助沉积超硬
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