林清华
- 作品数：48 被引量：175H指数：6
- 供职机构：广东工业大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学文化科学机械工程更多>>
- 用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展被引量：6
- 2007年
- 阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型——高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍。总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺点,包括它们的整形能力、能量损失、干涉效应以及波前和振幅均匀化控制等;同时对主要整形器件的原理、特性和进展情况进行了简要综述。
- 林清华宋超王鲁宾周金运
- 关键词：激光技术光刻微透镜阵列
- 印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析被引量：4
- 2009年
- 针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。
- 裴文彦周金运梁国均林清华
- 关键词：激光技术印刷电路板
- 一种用于书写阅读的LED照明系统设计与仿真被引量：1
- 2010年
- 概括了LED在照明领域中的应用,根据光度学原理和LED发光特性在CAD软件中建模了三维多圆环LED阵列,实现了均匀发光的球面光源并建模了旋转圆锥反射灯罩模型.导入TracePro中进行光线追迹,得到照度分布图,符合照明要求.该设计结构简单,节省了设计时间与制造成本.
- 马骁陈丽雷亮林清华许焕坤
- 关键词：发光二极管照度光线追迹
- PCB激光投影成像装置关键技术参数分析被引量：5
- 2007年
- 对用于印制电路板(PCB)工业化生产的激光投影成像装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析,在对装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、物镜结构、激光光源、照明相干度、像素密度和曝光时间,得到了相关的具有一定参考价值的结论。
- 林清华李文静周金运
- 关键词：印制电路板
- 一种红外相关识别报警系统
- 本实用新型公开了一种红外相关识别报警系统，该系统包括：红外CCD通过视频信号线连接到S-Video输入接口将信号输送到视频信号采集卡，视频信号采集卡通过PCI总线连接到计算机主机，计算机主机连接显示器；本实用新型提供的红...
- 陈丽雷亮王衢王博胡义华林清华
- 文献传递
- 一种大面积激光投影扫描式曝光工作台
- 本实用新型是一种大面积激光投影扫描式曝光工作台。包括置于机架上的Y轴平台、置于Y轴平台上方的X轴平台、用于控制X轴平台在Y轴平台上沿x方向作往返运动的X直线电控台、用于控制Y轴平台在机架上沿y方向运动的Y直线电控台、用于...
- 欧阳琴周金运徐卡里林清华
- 文献传递
- 激光光刻大面积扫描投影成像光学系统测试及评价被引量：1
- 2012年
- 基于351nm XeF激光大面积投影成像光刻系统,通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能测试。由激光经过柱面透镜、微透镜阵列均束器以及投影折叠物镜之后产生的能量及光束质量变化,将准分子激光光束均匀性评价指标部分运用到光学系统的评价之中,得到光学系统在不同关键位置的能量分布曲线以及平顶因子关系图,表明微透镜阵列均束器虽保证了整个光学系统各处光斑的均匀性,但衍射却造成了能量利用率的降低。同时,通过对印制电路板(PCB)和玻璃(ITO)进行曝光和显影实验,表明该双远心共焦投影光学系统,只要控制使均匀输出的能量符合曝光剂量,就能够满足分辨率的要求。
- 梅龙华周金运雷亮林清华王新星施颖
- 关键词：成像系统准分子激光光刻光束均匀性
- 大学理科教师要重视学生素质教育
- 2010年
- 文章围绕素质教育这个主轴,结合在理科教学实践活动中进行的探索,阐明大学理科教师的任务不能单纯停留在知识传授上,而应该通过教学活动让学生学知、学干、学会共同生活、学会共同发展。
- 林清华陈丽
- 关键词：大学教育素质教育理科教师
- 多涡卷混沌吸引子研究的新结果被引量：33
- 2003年
- 提出一种能产生大小均匀多涡卷混沌吸引子的新方法。构造一个使蔡氏二极管伏安特性为多个分段线性的奇函数,找出该函数中平衡点电压与转折点电压之间定量关系的一种递推规律,从而可用递推的方法计算出各个平衡点和转折点的电压值,可产生具有多个涡卷的混沌吸引子。这种方法基于Shil’nikov定理和混沌吸引子的细胞模型。理论计算、计算机模拟和硬件实验结果三者完全吻合,由此证实了该方案的可行性。与Suykens等人给出的结果相比,本方法的特点是混沌吸引子中的涡卷大小均匀、数量明显增多,并且从理论上找到了其产生的一种普适规律。
- 禹思敏丘水生林清华
- 关键词：蔡氏电路混沌动力学电路结构细胞模型
- 基于最小差错概率准则的CSK信号解调
- 2001年
- 根据混沌信号比特能量不为常数这一特点,提出一种基于最小差错概率准则的CSK信号解调方案,在此基础上设计硬件实验电路,进行了电路仿真和硬件实验研究,给出了实验结果。
- 禹思敏林清华丘水生
- 关键词：混沌键控信号解调
