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李海鑫

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇软模板
  • 4篇紫外纳米压印
  • 4篇纳米压印
  • 3篇多孔
  • 2篇点阵结构
  • 2篇多孔氧化铝
  • 2篇多孔氧化铝模...
  • 2篇氧化铝模板
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米压印技术
  • 2篇聚二甲基
  • 2篇聚二甲基硅氧...
  • 2篇基料
  • 2篇甲基
  • 2篇浇铸法
  • 2篇硅油
  • 2篇二甲基
  • 2篇二甲基硅氧烷
  • 1篇多孔阳极氧化...
  • 1篇阳极氧化铝

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇李海鑫
  • 3篇黄其煜

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 2篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
用于紫外纳米压印的点阵结构软模板的制备方法
一种纳米压印技术领域的用于紫外纳米压印的点阵结构软模板的制备方法，包括：采用多孔氧化铝模板作为母版，将聚二甲基硅氧烷基料和固化剂配比搅拌后加入硅油制成聚二甲基硅氧烷稀释剂；真空条件下，用针管加入聚二甲基硅氧烷稀释剂到母版...
黄其煜李海鑫
文献传递
基于硅油稀释聚二甲基硅氧烷法制备软模板的紫外纳米压印技术
紫外纳米压印技术是一种室温下即可进行的，具有高分辨率、高产能、低成本等优点的纳米压印技术。紫外纳米压印的最小分辨率完全取决于模板的分辨率。软压印模板的传统制备方法一般使用电子束直写或者极紫外光刻技术，工艺复杂、成本昂贵、...
李海鑫
关键词：紫外纳米压印软模板多孔阳极氧化铝聚二甲基硅氧烷硅油
用于紫外纳米压印的点阵结构软模板的制备方法
一种纳米压印技术领域的用于紫外纳米压印的点阵结构软模板的制备方法，包括：采用多孔氧化铝模板作为母版，将聚二甲基硅氧烷基料和固化剂配比搅拌后加入硅油制成聚二甲基硅氧烷稀释剂；真空条件下，用针管加入聚二甲基硅氧烷稀释剂到母版...
黄其煜李海鑫
硅油稀释PDMS法制备紫外纳米压印软模板被引量：2
2010年
软模板的制作是紫外纳米压印中关键的技术,模版的分辨率直接决定了压印图形的最小分辨率。使用具有高度均匀、100nm级孔洞阵列结构的多孔氧化铝作为母版,使用基于液态浇铸的硅油稀释聚二甲基硅氧烷(硅油和聚二甲基硅氧烷的质量比为1:2)法制备出具有规则点阵结构的软模板。通过SEM和AFM表征发现,特征图形得到了有效转移,特征尺度保持在100nm左右。相对于传统的模板制备方法,此方法成本低、流程简单、适合大规模生产,是一种非常有前途的软模板制备方法。
李海鑫黄其煜
关键词：聚二甲基硅氧烷硅油紫外纳米压印软模板浇铸法
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