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李景
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
关兴国
中国电子科技集团第十三研究所
章其麟
中国电子科技集团第十三研究所
刘燕飞
中国电子科技集团第十三研究所
任永一
中国电子科技集团第十三研究所
袁风波
中国电子科技集团第十三研究所
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MOCVD生长GaAlAs/GaAs HBT材料
章其麟
关兴国
李景
刘英斌
任永一
袁风波
刘燕飞
孙进民等
1.成果内容简介:该成果采用MOCVD生长HBT材料,解决了GaAs体材料的纯度,找到了克服GaAlAs氧沾污的方法,尤其是采用最新的P-GaAs掺C技术,满足了异质结与P-N结的陡峭分布,做到了基区很薄(80纳米)且P...
关键词:
关键词:
化学汽相淀积
汽相外延生长
GAALAS/GAAS
HBT材料
LP-MOCVD生长InGaAs/GaAs量子阱
李景
关兴国
关键词:
低压
化学汽相沉积
砷化镓
砷化铟
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