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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇氢化
  • 1篇正交
  • 1篇正交设计
  • 1篇三氯氢硅
  • 1篇四氯化硅
  • 1篇氢化反应
  • 1篇氯化
  • 1篇氯化硅
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 2篇昆明冶研新材...
  • 1篇昆明理工大学

作者

  • 2篇朱明
  • 2篇潘红星
  • 1篇曾亚龙
  • 1篇宋东明
  • 1篇李光明
  • 1篇陈丽娟
  • 1篇马卓煌

传媒

  • 1篇氯碱工业
  • 1篇材料导报(纳...

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化被引量:3
2013年
介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素,并运用正交设计的方法找出最优工艺参数,从而指导实际生产。
马卓煌宋东明陈丽娟潘红星朱明
关键词:多晶硅正交设计工艺参数
SiCl_4氢化技术的应用现状及研究进展被引量:4
2013年
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段。以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考。
潘红星曾亚龙朱明李光明
关键词:四氯化硅氢化三氯氢硅多晶硅
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