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朱明
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
供职机构:
昆明冶研新材料股份有限公司
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相关领域:
化学工程
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合作作者
潘红星
昆明冶研新材料股份有限公司
李光明
昆明冶研新材料股份有限公司
曾亚龙
昆明冶研新材料股份有限公司
马卓煌
昆明冶研新材料股份有限公司
陈丽娟
昆明冶研新材料股份有限公司
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2013
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改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化
被引量:3
2013年
介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素,并运用正交设计的方法找出最优工艺参数,从而指导实际生产。
马卓煌
宋东明
陈丽娟
潘红星
朱明
关键词:
多晶硅
正交设计
工艺参数
SiCl_4氢化技术的应用现状及研究进展
被引量:4
2013年
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段。以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考。
潘红星
曾亚龙
朱明
李光明
关键词:
四氯化硅
氢化
三氯氢硅
多晶硅
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