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曾国良

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：郑州大学更多>>
发文基金：河南省自然科学基金河南省杰出人才创新基金河南省杰出青年科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程

主题

  • 3篇刻蚀
  • 3篇光刻
  • 3篇分子
  • 3篇高分子
  • 3篇LB
  • 3篇LANGMU...
  • 2篇性能研究
  • 1篇有机高分子
  • 1篇石英晶体
  • 1篇石英晶体微天...
  • 1篇萘基
  • 1篇显影
  • 1篇晶体
  • 1篇光分解
  • 1篇QCM
  • 1篇LANGMU...
  • 1篇超薄膜

机构

  • 4篇郑州大学

作者

  • 4篇曾国良
  • 2篇李铁生
  • 2篇许文俭
  • 2篇吴养洁
  • 1篇王筠
  • 1篇赵娜
  • 1篇尚巍
  • 1篇张素华

传媒

  • 2篇功能材料

年份

  • 4篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究
合成并表征了 N-十六烷基丙烯酰胺(HDA) 和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物 p(HDA-BPhMA)s．当 HDA 含量较高时,共聚物可在气 /液界面上形成稳定,排列紧密的单分子薄膜,并可以 Y 型膜...
曾国良李铁生许文俭张素华王筠赵娜吴养洁
关键词：光刻刻蚀
文献传递
有机高分子Langmuir-Blodgett（LB）膜的制备及其应用研究
本论文合成了一系列烷基长链(甲基)丙烯酰胺和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物，通过<'1>H NMR和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物中单体比例及分子量进行了表征。研究表明，(甲基)丙烯酰胺在共聚物中的含量及...
曾国良
关键词：LANGMUIR-BLODGETT膜光刻刻蚀
文献传递
高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究
2007年
合成并表征了N-十六烷基丙烯酰胺（HDA）和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯（BPhMA）的共聚物p（HDA-BPhMA）s。当HDA含量较高时，共聚物可在气，液界面上形成稳定，排列紧密的单分子薄膜，并可以Y型膜的方式沉积在各种固体基片上，形成多层均匀的Langrnuir-Blodgett（LB）膜。这种LB膜被成功地应用于光刻，获得了分辨率为0.5μm的LB膜图形。以该图形为抗蚀层，可将图形进一步转移至金属薄膜上，得到分辨率较高的金属图形，在图形转移的过程中，这种LB膜显示出较高的抗蚀性，有望作为纳米抗蚀薄膜材料在亚微米刻蚀领域得到应用。
曾国良李铁生许文俭张素华王筠赵娜吴养洁
关键词：光刻刻蚀
含萘基的光抗蚀剂超薄膜的显影和光分解性质的研究被引量：1
2007年
用LB膜技术将以十二烷基甲基丙烯酰胺（DDMA）为成膜物质，以甲基丙烯酸-β-萘酯（NPMA）为光敏感物质的共聚物（pDDMA-NPMA）在石英等基片上制成超薄膜，并用石英晶体微天平（QCM），AFM，FTIR对其显影过程及光分解机理进行了初步探讨。实验结果表明，光照前，pDDMA-NPMA薄膜对超纯水和四甲基氢氧化铵稳定，但能溶解于丙酮溶液中。用深紫外光照射后的样品，对超纯水稳定，但可在四甲基氢氧化铵显影，且显影效率随显影剂浓度的增大而增大。当用深紫外光连续照射时，在辐照的初期，共聚物中的萘被光诱导而发生拓扑化学反应，即光二聚，随着光照时间的增长，聚合物分子的主链和侧链发生氧化分解反应，生成易挥发的链碎片。
许文俭李铁生曾国良尚巍吴养洁
关键词：超薄膜光分解显影
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