施维枝
- 作品数：9 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程金属学及工艺更多>>
- 一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法
- 本发明一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及微电铸金属模具的尺寸精度的控制方法。该方法包括掩膜版设计和模具制作工序，针对SU－8厚胶、图形密集、复杂的微电铸工艺，设计掩膜版时，在相对较窄的单个或多...
- 刘冲杜立群李苗苗施维枝刘军山梁军生
- 文献传递
- 一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺
- 本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以...
- 刘冲孙灵俊梁军生施维枝王立鼎
- 文献传递
- 一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法
- 本发明一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及微电铸金属模具的尺寸精度的控制方法。该方法包括掩膜版设计和模具制作工序，针对SU-8厚胶、图形密集、复杂的微电铸工艺，设计掩膜版时，在相对较窄的单个或多...
- 刘冲杜立群李苗苗施维枝刘军山梁军生
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- 一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺
- 本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以...
- 刘冲孙灵俊梁军生施维枝王立鼎
- 文献传递
- 一种压力与位移测控装置
- 本发明一种压力与位移测控装置涉及一种测控装置，特别是用于质子交换膜燃料电池封装的压力与位移测控装置，尤其适于在监测电池性能参数的情况下，调节封装压力和位移，进行原位封装的装置。该装置包括方形移动支撑平台、矩形机架、动力施...
- 王立鼎刘冲梁军生马天亮施维枝
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- 基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法被引量：4
- 2011年
- 以SU-8胶为微电铸母模制作镍模具时,胶模的热溶胀性使胶模变形,导致铸层线宽缩小,这是影响微电铸铸层尺寸精度的主要因素。针对密集蛇形沟道图形的镍模具微电铸工艺,以200.0μm厚SU-8胶为胶模,研究微电铸铸层尺寸精度的控制方法,提出基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法,即在图形四周增设一条封闭等间距的隔离带,用隔离带减少影响图形区域的SU-8胶模的体积,阻止电铸时该处胶模的热溶胀对图形区域的影响,进而减小铸层尺寸变化。结果表明,采用增设隔离带方法制作的镍模具,胶模线宽变化量最大值由61μm减小到31.4μm,铸层尺寸相对误差的最大值由31.3%减小到16.7%,这种方法显著提高微电铸铸层的尺寸精度。
- 刘冲李苗苗施维枝杜立群王立鼎
- 关键词：微电铸SU-8胶隔离带尺寸精度
- 基于SU-8厚胶镍模具制作及其尺寸精度控制研究
- 基于SU-8胶的UV-LIGA技术已广泛应用于微机电系统(MEMS)中，其具有微小结构成型、复杂结构成型、批量生产、能够得到高深宽比和侧壁近乎垂直的微结构等突出优点。但SU-8胶存在热溶胀性，微电铸时会导致胶模变形，铸层...
- 施维枝
- 关键词：微机电系统精度控制
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- 微型燃料电池流场板研究进展被引量：1
- 2008年
- 在环境污染日益严重的今天,作为清洁能源的燃料电池受到越来越多的关注。为了适应便携式设备的需求,燃料电池的微型化成为发展趋势。在微型燃料电池的诸多关键技术中,流场板结构及其加工成为主要困难之一。本文介绍了微型燃料电池的工作原理,探讨了包括流场板形状、微沟道尺寸和流场板开孔率等方面的流场板结构对微型燃料电池性能的影响,综述了基于MEMS技术的微流场板加工工艺。
- 刘冲李苗苗梁军生施维枝孙焕丽
- 关键词：微型燃料电池流场板
- 一种压力与位移测控装置
- 本发明一种压力与位移测控装置涉及一种测控装置，特别是用于质子交换膜燃料电池封装的压力与位移测控装置，尤其适于在监测电池性能参数的情况下，调节封装压力和位移，进行原位封装的装置。该装置包括方形移动支撑平台、矩形机架、动力施...
- 王立鼎刘冲梁军生马天亮施维枝
- 文献传递
