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左潇

作品数：23 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺理学机械工程文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 6篇金属学及工艺
  • 3篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 12篇磁控
  • 9篇溅射
  • 9篇磁控溅射
  • 7篇涂层
  • 6篇脉冲
  • 6篇高功率脉冲
  • 6篇高功率
  • 3篇耐蚀
  • 3篇溅射法
  • 3篇靶材
  • 3篇靶面
  • 3篇SUB
  • 3篇CRB
  • 3篇磁控溅射法
  • 3篇磁控溅射技术
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇多晶硅薄膜
  • 2篇选择性刻蚀
  • 2篇直流磁控

机构

  • 20篇中国科学院宁...
  • 3篇中国科学院等...
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 23篇左潇
  • 20篇汪爱英
  • 14篇柯培玲
  • 13篇张栋
  • 12篇陈仁德
  • 4篇孙丽丽
  • 3篇舒兴胜
  • 3篇王振玉
  • 2篇孟月东
  • 2篇陈龙威
  • 2篇郭鹏
  • 2篇魏钰
  • 1篇汪闯
  • 1篇方世东
  • 1篇王守国
  • 1篇宋莎莎
  • 1篇张军

传媒

  • 3篇核聚变与等离...
  • 1篇中国表面工程

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 4篇2021
  • 6篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种长效耐磨防雾镜片涂层及其制备方法与应用
本发明公开了一种长效耐磨防雾镜片涂层及其制备方法与应用。所述制备方法包括：采用高功率脉冲复合射频磁控溅射系统，在镜片基材表面沉积形成硅掺杂类金刚石涂层；之后对所述硅掺杂的类金刚石涂层进行等离子体刻蚀处理形成纳米织构，从而...
张栋汪爱英孙丽丽左潇陈仁德
文献传递
一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法
本发明提供一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法。复合靶由多种不同材质的靶材组成，并且各靶材形成同轴套接的平面结构。通过控制阴极电弧源磁场分布，使弧斑处于指定靶材的靶面，能够在基体表面沉积该指定靶材，因此利用该复合靶能够...
陈仁德左潇汪爱英张栋柯培玲
文献传递
不锈钢基材表面的具有高硬耐蚀性的CrB<Sub>2</Sub>涂层及其制备方法
本发明公开了一种不锈钢基材表面的具有高硬耐蚀性的CrB<Sub>2</Sub>涂层，该涂层以纳米柱状晶CrB<Sub>2</Sub>为主相结构，并且CrB<Sub>2</Sub>涂层中含有(001)和(002)两种晶面取...
左潇汪爱英柯培玲陈仁德张树参
文献传递
真空镀膜装置
本发明涉及一种真空镀膜装置，包括真空腔体，设于所述真空腔体内的线圈和支撑架，及连接于所述真空腔体的进气管；所述进气管能够往所述真空腔体导入反应气体；所述线圈连接高频电源，且所述线圈通电能够电离所述真空腔体内的反应气体，以...
陈仁德左潇汪爱英柯培玲张栋
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一种CrB<Sub>2</Sub>涂层的制备方法
本发明公开了一种CrB<Sub>2</Sub>涂层的制备方法。采用直流磁控溅射法，设计靶源磁场由位于靶面底部的环形磁铁与直线型磁铁组成，通过对靶源磁场的设计，使靶面不同位置具有不同的磁场强度，并对应的放置一系列样品，在各...
汪爱英翁佳豪柯培玲张栋左潇
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可变磁场磁控溅射镀膜装置及高导电碳基涂层的制备方法
本发明揭示了一种可变磁场磁控溅射镀膜装置及高导电碳基涂层的制备方法。所述可变磁场磁控溅射镀膜装置包括真空腔体、可变磁场磁控阴极、转动机构和辅助阴极，所述真空腔体的内部设置有溅射镀膜区，所述可变磁场磁控阴极用以向设置在所述...
汪爱英陈仁德张栋左潇
文献传递
一种四面体非晶碳膜及其制备方法与应用
本发明公开了一种四面体非晶碳膜及其制备方法与应用。所述四面体非晶碳膜的制备方法包括：对基体表面进行刻蚀处理；之后采用高功率脉冲磁控溅射技术，以石墨靶为靶材，在所述基体表面沉积形成四面体非晶碳膜，其中，高功率脉冲占空比为1...
左潇汪爱英张栋陈仁德李昊
氢气稀释比例对多晶硅薄膜微观结构和沉积特性的影响
2014年
利用电感耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICP-PECVD)直接在普通玻璃衬底上低温沉积多晶硅薄膜,主要研究了不同氢气稀释比例对薄膜沉积特性和微观结构的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)表征了在不同氢气比例条件下所制备多晶硅薄膜的微结构、形貌,并对不同条件下样品的沉积速率进行了分析。实验结果表明:随着混合气体中硅烷比例的增加,薄膜的沉积速率不断增加;晶化率先增加,后减小;当硅烷含量为4.8%时,晶化率达到最大值67.3%。XRD和SEM结果显示多晶硅薄膜在普通玻璃衬底上呈柱状生长,且晶粒排列整齐、致密,这种结构可提高载流子的纵向迁移率,有利于制备高效多晶硅薄膜太阳能电池。
宋莎莎左潇魏钰陈龙威舒兴胜
关键词：电感耦合等离子体等离子体增强化学气相沉积多晶硅薄膜
润滑涂层及其制备方法
本发明涉及一种润滑涂层及其制备方法，所述润滑涂层通过直流磁控溅射方法制得，包括用于与基体贴合的过渡层以及贴合于所述过渡层的功能层，其中，所述功能层包括多个依次且相互交替设置的VAlN层和VAlCN层，所述VAlN层和所述...
柯培玲康皓汪爱英王振玉左潇
文献传递
一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法
本发明提供了一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜，然后在惰性气体保护气氛中对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理。一方面双元金属掺杂和热处理能够提高薄膜的石墨化程度，降低薄膜表...
孙丽丽汪爱英张栋郭鹏柯培玲左潇
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