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山秀文
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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相关领域:
理学
电气工程
电子电信
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合作作者
李广
河北工业大学信息工程学院
杨瑞霞
河北工业大学信息工程学院
安会静
河北工业大学信息工程学院
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机构
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河北工业大学
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作者
3篇
山秀文
2篇
安会静
2篇
杨瑞霞
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李广
传媒
2篇
真空
年份
3篇
2011
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射频功率对非晶硅薄膜光电性能的影响
被引量:1
2011年
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Corning Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响。结果表明:通过调节功率可获得具有高折射率,高吸收系数,低暗电导率的非晶硅薄膜。
山秀文
雷青松
薛俊明
杨瑞霞
安会静
李广
关键词:
非晶硅薄膜
折射率
光学带隙
PECVD法制备非晶硅锗薄膜及其太阳能电池应用研究
非晶硅锗薄膜具有吸收系数高、带隙可调的优点,可大幅度地提高太阳光的吸收效率并拓宽光谱响应的范围,是非常有前景的叠层太阳能电池的底电池有源层材料。 本文以SiH4和GeH4作为反应气体,用H2作为稀释气体,采用射频等离子...
山秀文
关键词:
太阳能电池
生长速率
文献传递
利用脉冲直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜的研究
被引量:1
2011年
利用中频脉冲直流磁控溅射法制备了平面ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,研究了沉积压力、衬底温度和溅射功率对AZO薄膜光电性能、薄膜稳定性的影响。结果表明:在较低沉积压力、衬底温度及溅射功率下,可获得具有低电阻率、高透过率、高稳定性的AZO薄膜。
安会静
雷青松
薛俊明
杨瑞霞
山秀文
李广
关键词:
ZNO:AL
磁控溅射
AZO
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