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孔祥刚
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电子科技大学
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梅迪
电子科技大学
王影
电子科技大学
李晶泽
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周爱军
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周爱军
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梅迪
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2011
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用作太阳能电池光吸收层的铜铟镓硒薄膜的制备方法
本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜的制备方法,其特征在于,使用铜铟镓硒单靶磁控溅射和硒化退火工艺。将Mo靶和CuIn<Sub>0.75</Sub>Ga<Sub>0.25</Sub>Se<Sub>2</Sub>靶材安装于磁控溅射腔...
李晶泽
周爱军
孔祥刚
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王影
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