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周懿云
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南开大学
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相关领域:
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合作作者
赵新
南开大学
余斌
南开大学
谭宜勇
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杜书印
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周懿云
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赵新
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1篇
2005
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基于虚拟现实技术的具有部件库的MEMS设计环境研究
卢桂章
赵新
辛运帏
张蕾
谭宜勇
任亮
杜书印
王凯
周懿云
李明
李亚威
余斌
MEMS是用硅工艺制造的微小器件,它和一般IC的主要不同点是在运行过程中要产生变形或者与其他物质有相对运动。因此,制造出来的MEMS器件的机械性能能不能达到设计的要求,是成功的关键。该课题从三个方面进行研究:动态模型建立...
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