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刘飞翔
作品数:
4
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
理学
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合作作者
蒲以康
清华大学
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2篇
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电子密度
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脉冲
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脉冲放电
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膜厚
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光阑
1篇
反射光
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薄膜厚度
机构
4篇
清华大学
作者
4篇
刘飞翔
3篇
蒲以康
年份
2篇
2015
1篇
2014
1篇
2013
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波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置
本发明提出一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置,包括:积分球,包括进光口和出光口,用于将由进光口照射的光线进行混合,并由出光口发射;至少一个紫外光源;准直管;衍射装置,包括光栅,光栅位于准直管的另一端,以将由多个...
刘飞翔
蒲以康
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波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置
本发明提出一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置,包括:积分球,包括进光口和出光口,用于将由进光口照射的光线进行混合,并由出光口发射;至少一个紫外光源;准直管;衍射装置,包括光栅,光栅位于准直管的另一端,以将由多个...
刘飞翔
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脉冲容性耦合放电中电子密度和温度的演化机制研究
目前低温等离子体脉冲放电在工业界得到了广泛的应用,尤其是在材料表面处理领域。相比于传统的稳态放电,脉冲放电形式有着众多优势,比如通过调节脉冲频率和占空比可以更灵活地控制不同活性粒子的通量,减少表面电荷沉积以及缓解离子轰击...
刘飞翔
关键词:
脉冲放电
蒸发冷却
薄膜厚度测量装置
本发明公开了一种薄膜厚度测量装置,包括:紫外单色光源;光阑,光阑垂直设置;半透半反镜,半透半反镜的中心点、光阑的中心点与紫外单色光源位于同一直线上,半透半反镜所在平面与光阑所在平面夹45°角,半透半反镜用于将紫外单色光源...
刘飞翔
蒲以康
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