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余晋勇

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：太原理工大学材料科学与工程学院表面工程研究所更多>>
发文基金：山西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇电子温度
  • 1篇阴极
  • 1篇阴极效应
  • 1篇空心阴极
  • 1篇空心阴极效应
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱分析

机构

  • 1篇太原理工大学

作者

  • 1篇刘燕萍
  • 1篇余晋勇
  • 1篇徐重
  • 1篇王建忠
  • 1篇隗晓云
  • 1篇高原

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
空心阴极N^(2+)等离子体放电电子温度的研究被引量：4
2006年
利用双层辉光放电空心阴极效应,针对N2发射光谱相对强度的变化,采用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下的光谱进行测绘,获得一系列谱线及测量数据。通过玻尔兹曼方程式求得不同工艺条件下的N2+等离子体的电子温度。并分析了工件电压、源极电压和工作气压对电子温度的影响。结果表明:当工作气压和工件电压一定时,电子温度随源极电压的升高先减小后增大,最后又减小;当源电压一定时,电子温度随工件电压和工作气压的升高而明显减小,并且其减小幅度随源极电压的升高而逐渐降低;当工作气压一定时,工件电压的变化较源极电压的变化对电子温度的影响大。
隗晓云王建忠刘燕萍余晋勇高原徐重
关键词：电子温度等离子体空心阴极效应辉光放电光谱分析
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