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龙运栋
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中南大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
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相关领域:
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合作作者
李涵雄
香港城市大学
段小刚
中南大学
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龙运栋
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1篇
2013
1篇
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基于时空分离AFM微悬臂的模糊PID控制研究
被引量:4
2013年
针对原子力显微镜(AFM)微悬臂的柔性特征,提出了一种基于时空变量分离的模糊PID控制方法。由于AFM的微悬臂探针的运动精度非常高,对扰动很敏感,因而需建立微悬臂的分布参数系统模型。在保持柔性微悬臂的空间振动特性的基础上,将基于时空变量分离控制方法,结合鲁棒性强的模糊PID控制方法运用到AFM微悬臂探针的控制上,这样使控制器的设计不用考虑空间耦合的影响。通过实验仿真结果,这种方法有效地提高了AFM的微悬臂探针的控制性能和稳定性。
龙运栋
段小刚
李涵雄
关键词:
原子力显微镜
微悬臂
分布参数系统
模糊PID
纳米操作平台柔性微悬臂的模糊控制研究
原子力显微镜(Atomic Force Microscope)作为现代纳米科学研究的基本工具,已广泛应用于纳米科技的各个研究领域中。原子力显微镜的微悬臂主要用于纳米操纵等。由于AFM微悬臂是微纳米级的,具有柔性特征,微悬...
龙运栋
关键词:
原子力显微镜
模糊PID控制
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