骆亮 作品数:14 被引量:23 H指数:3 供职机构: 中北大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家杰出青年科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 更多>>
耦合间距对绝缘体上硅微环谐振腔的性能影响 被引量:10 2014年 运用微机电系统(MEMS)工艺制备了不同耦合间距的微环谐振腔,针对耦合间距对耦合系数、谐振深度的影响,进行了理论分析与仿真,并对结构进行耦合实验测试。测试结果表明,随着微环耦合间距的增加,耦合系数减小,谐振深度变浅,这与理论仿真一致。实际计算了相应的耦合效率、3dB带宽及品质因数,随着耦合间距增大,耦合效率降低,3dB带宽也随之变窄,微环谐振腔的品质因数逐渐提高。研究结果为微环谐振腔的进一步优化设计及其在相关领域中的研究与应用提供了依据。 李明慧 马可贞 骆亮 郭泽彬 张安富 薛晨阳 张文栋 闫树斌关键词:集成光学 微环谐振腔 基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器 本发明涉及电路系统稳定性的控制装置,尤其涉及光学陀螺系统的稳定性控制装置,具体为一种基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器,包括比例运算放大器、积分运算电路、微分运算电路和比例加法器,还包括FPGA控制芯片、第... 闫树斌 王红亮 张会新 马游春 刘俊 薛晨阳 张文栋 陈浩 骆亮 张蔚云 郑永秋文献传递 面向陀螺应用的硅基大尺寸楔角型谐振腔 被引量:2 2015年 针对集成光学陀螺中核心敏感单元难以同时实现集成化和高灵敏度问题,提出了硅基二氧化硅楔角型谐振腔的制作方案。通过理论分析得出,由光电探测器散弹噪声引起的陀螺极限灵敏度与谐振腔的直径和品质因数乘积(D×Q)成正比。运用MEMS工艺,制作出直径达1.5 cm、楔角22°的谐振腔;通过控制氧化硅腐蚀时掩膜层的参数,获得了不同楔角的谐振腔,并论述了腐蚀楔角跟掩膜层参数的关系。通过耦合测试,该谐振腔品质因数为2×106,理论上采用上述谐振腔研制的陀螺,其极限灵敏度可达6(°)/h。 闫树斌 马可贞 李明慧 郭泽彬 骆亮 张安富 王任鑫 薛晨阳关键词:集成光学 应用于谐振式光学陀螺的正弦波调制解调技术 被引量:3 2016年 谐振式光学陀螺(ROG)是一种基于光学Sagnac效应检测转动角速度的高精度惯性传感器。锯齿波和三角波调制会导致谐振信号出现大量毛刺噪声以及复位脉冲的问题,通过正弦波调制解调可以解决上述问题,而且具有更高调制频率的优势。搭建了光学微谐振腔调制解调实验系统,分析了正弦波调制参数的变化对谐振曲线与鉴频曲线的影响。在调制频率为4 MHz,调制幅值为2 V时,得到了最为平滑的谐振曲线与最佳线性度的鉴频曲线。为光学微谐振腔在谐振式陀螺系统应用中相位调制选择最佳的参数提供了参考。 仇海涛 闫树斌 张成飞 骆亮 苏莹 闫徐林关键词:谐振式光纤陀螺 谐振曲线 应用于谐振式光纤陀螺的双相位锁相放大器的设计 被引量:4 2014年 谐振式光纤陀螺(R-FOG)是利基于光学Sagnac效应实现高精度的转动检测惯性传感器件。在R-FOG系统中,陀螺信号的处理占有非常重要的地位。根据R-FOG系统中,光纤环形谐振腔的谱线宽度高达几十MHz以及RFOG输出信号具有弱信号、大噪声特点。设计了一种用于提取被噪声淹没的微弱信号的双相位锁相放大器,优点在于不需要进行相位调整。在对双相位锁相放大器各部分电路进行具体设计和分析的基础上,完成了对整体电路的性能测试。测试结果表明,研制的锁相放大器在载波频率为900 k Hz时,将整个电路应用于R-FOG系统中,解调出的信号效果良好,可以实现锁频要求。 陈浩 闫树斌 郑永秋 仇海涛 骆亮 李小枫 安盼龙 薛晨阳关键词:微弱信号检测 一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法 本发明属于光学领域和微机电系统领域,具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括:基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理:首先入射光通过光栅耦合进直波导,在直波导中传输... 闫树斌 张志东 崔建功 薛晨阳 张文栋 王瑞兵 骆亮 陈慧斌 苏莹SOI微环谐振腔测试信号纹波噪声的分析(英文) 被引量:1 2015年 基于绝缘体上硅材料(SOI)的微环谐振腔作为各种集成微光学器件的核心部件,其传输特性的好坏直接决定微光学器件的性能优劣。结合微环谐振腔理论和多光束干涉原理对微环谐振腔测试信号中纹波的产生原因和影响因素进行了分析,通过耦合实验测试得到了纹波信号的特征参数并进行了分析,实验结果与仿真分析吻合。进一步分析了耦合光栅刻蚀深度对纹波幅值的影响及原因,为微环谐振腔结构参数的进一步优化和微环谐振腔传感系统误差分析提供了依据。 骆亮 李明慧 马可贞 张安富 薛晨阳 张文栋 闫树斌关键词:微环谐振腔 多光束干涉 纹波 光栅 硅基光波导激光表面光滑化仿真方法 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域,尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法,具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法,解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中,凭经验... 闫树斌 张文栋 张志东 薛晨阳 崔建功 陈慧斌 骆亮 苏莹 王瑞兵文献传递 谐振式光学陀螺光源小型化驱动器的设计 被引量:2 2015年 提出并设计了基于升压型DC/DC转换器的激光器压电陶瓷驱动器,分析了DC/DC转换器的开关电源噪声对ROG系统的影响,通过优化设计实现了电源噪声的消除,满足了ROG系统检测需求,为小型化、高精度压电陶瓷驱动电源的设计提供了参考。 仇海涛 张成飞 郑永秋 安盼龙 骆亮 闫树斌关键词:压电陶瓷 分辨率 基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器 本发明涉及电路系统稳定性的控制装置,尤其涉及光学陀螺系统的稳定性控制装置,具体为一种基于谐振式光学陀螺系统的数字模拟复合PID控制器,包括比例运算放大器、积分运算电路、微分运算电路和比例加法器,还包括FPGA控制芯片、第... 闫树斌 王红亮 张会新 马游春 刘俊 薛晨阳 张文栋 陈浩 骆亮 张蔚云 郑永秋文献传递