陶也
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：矿业工程自动化与计算机技术更多>>
- 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3
- 2013年
- 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.
- 陶也曾毅波刘畅林杰郭航
- 关键词：微机电系统电容式压力传感器硅薄膜化学机械抛光
- 基于三菱PLC太阳能板跟踪控制系统的设计被引量：2
- 2009年
- 提出了基于可编程逻辑控制器PLC的太阳能板跟踪系统,使太阳能板实时正对太阳光照,从而获得最大的太阳能。系统设计分为硬件部分和软件部分:硬件部分包括PLC输入输出端口的配置、光敏电阻光强法比较电路、机械运动部件;软件部分主要是PLC的控制和监控程序。设计的系统使最大限度地获得太阳能成为可能,提高能源的利用率,具有良好的应用前景。
- 彭胤罗家斌陶也张志
- 关键词：太阳能PLC
