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陈韦
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
重庆大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
彭佳
重庆大学材料科学与工程学院
江四川
重庆大学材料科学与工程学院
黄佳木
重庆大学材料科学与工程学院国家...
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金属学及工艺
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陈韦
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彭佳
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真空科学与技...
年份
1篇
2014
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制备工艺参数对AZ31镁合金表面溅射TiAlN薄膜耐腐蚀性能的影响
被引量:1
2014年
采用射频反应磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了TiAlN薄膜。用场发射扫描电镜、电化学工作站研究分析了薄膜的表面形貌以及电化学性能,研究了铝靶溅射功率、钛靶溅射功率、氮气流量、沉积时间对TiAlN薄膜耐腐蚀性能的影响。结果表明实验所制备的TiAlN薄膜表面光滑、致密。当Al靶功率为50 W,Ti靶功率为125 W,N2流量为30 mL/min(标准状态),沉积时间为8 h时薄膜耐腐蚀性能最佳。薄膜腐蚀电流密度(4.321×10-7 A/cm2)比镁合金基体(1.066×10-5 A/cm2)降低了1个数量级以上,镁合金耐腐蚀性能得到较大提高。
黄佳木
陈韦
彭佳
江四川
关键词:
TIALN薄膜
磁控溅射
镁合金
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