钟佩思
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：山东大学更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 电子束曝光机工作台吊装结构动态特性的研究
- 1993年
- 正在研制的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光机的主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点,用有限元法建立了吊装结构的三维实体力学模型,在理论上对其进行了动态特性分析与计算,并用锤击法进行了测试。分析与实验表明,工作台吊装结构抗冲击能力很强,能够满足电子束曝光机高精度和高速度的要求。
- 钟佩思周振华王国騢
- 关键词：动态特性有限元分析电子束曝光机
- 电子束曝光机工作台吊装结构的静态特性研究
- 1993年
- 正在研制的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光机的主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点,用有限元法建立了吊装结构的三维实体力学模型,在理论上对其进行了静态特性的分析与计算,并用激光散斑法进行了实验验证,设计了工作台装配与调试的工艺支架。理论计算和实验分析充分证明工作台吊装结构能够满足电子束曝光机工作台亚微米定位精度的要求,具有独特的优越性。
- 钟佩思周振华王国瑕
- 关键词：静态特性电子束曝光机
