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蒲云章
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中国电子科技集团第十三研究所
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李献杰
中国电子科技集团第十三研究所
乔树允
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曾庆明
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高速InP/InGaAs雪崩光电二极管
被引量:2
2006年
采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次扩散、多层介质淀积、AuZn p 型欧姆接触、AuGeNi n 型欧姆接触等工艺,设计制造了正面入射平面 InP/InGaAs 雪崩光电二极管,器件利用 InGaAs做吸收层,InP 做增益层,光敏面直径50μm;测试结果表明器件有正常的光响应特性,击穿电压32~42 V,在低于击穿电压2 V 左右可以得到大约10 A/W 的光响应度,在0到小于击穿电压1 V 的偏压范围内,暗电流只有1 nA 左右;器件在2.7 GHz 以下有平坦的增益。
曾庆明
李献杰
蒲云章
乔树允
关键词:
雪崩光电二极管
INP/INGAAS
光电探测器
高速InP/InGaAs雪崩光电二极管
采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次扩散、多层介质淀积、AuZnp型欧姆接触、AuGeNin型欧姆接触等工艺,设计制造了正面入射平面InP/InGaAs雪崩光电二极管,器件利用InGaAs做吸收层,InP...
曾庆明
李献杰
蒲云章
乔树允
关键词:
雪崩光电二极管
INP/INGAAS
光电探测器
欧姆接触
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高速InP/InGaAs雪崩光电二极管
采用分层吸收渐变电荷倍增(SAGCM)结构,通过两次扩散、多层介质淀积、AuZnp型欧姆接触、AuGeNin型欧姆接触等工艺,设计制造了正面入射平面InP/InGaAs雪崩光电二极管,器件利用InGaAs做吸收层,InP...
曾庆明
李献杰
蒲云章
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雪崩光电二极管
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