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ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜被引量：1: 2011年; 为消除紫外线对硅基薄膜太阳能电池的热损害,并进一步提高电池转换效率,提出在硅基薄膜太阳能电池顶部低温下制备一薄层纳米硅薄膜.在P型（100）硅片上采用电子回旋共振微波等离子体增强化学气相沉积（ECR-PECVD）技术交替沉积SiO2/Si/SiO2层,改变衬底温度和H2流量沉积纳米硅薄膜,探讨低温下直接制备纳米硅薄膜的工艺.实验结果表明,在低温下,薄膜以非晶相为主,局部分布有零星的网格状晶化相,随着温度的升高,晶化趋势增加,晶化相颗粒大小在5~8 nm;当H2流量在20~40 mL/min变化时,随着流量的增加,薄膜晶化相增多,纳米硅尺寸在5~10 nm,但H2流量超过30 mL/min后,随着H2流量的增加,薄膜晶化率下降,纳米硅颗粒减少.利用H等离子体原位刻蚀方法,可明显改善薄膜晶化效果,经原位刻蚀处理后纳米晶颗粒尺寸及分布比较均匀,颗粒大小在6 nm左右.; 胡娟吴爱民岳红云张学宇秦福文闻立时; 关键词：ECR-PECVD 太阳能电池纳米硅

高效薄膜太阳电池中纳米硅薄膜的制备和结构研究: 为改善能量的转换效率,并降低成本,科研者们提出了第三代太阳能电池的概念。第三代太阳光伏电池的目标是在第二代薄膜电池的基础上充分利用太阳能的全光谱,提高光电转化效率,并降低成本,并有利于环境保护和生态平衡。对传统电池而言,...; 胡娟; 关键词：薄膜太阳能电池纳米硅薄膜 ECR-PECVD 微结构; 文献传递

ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究被引量：1: 2010年; 用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)的方法制备了磷掺杂微晶硅薄膜材料。通过Hall,Raman光谱和XRD的测试分析,研究了衬底温度和磷烷流量对掺杂薄膜组织结构和电学性能的影响。根据AFM照片分析了薄膜的表面形貌,进而推测了薄膜的内部组成。实验发现:衬底温度在250℃时,磷烷的加入会大大降低薄膜的晶化率。衬底温度提高到350℃后这种影响明显下降。薄膜的载流子浓度和电导率受薄膜晶化率影响明显,衬底温度的升高对薄膜电学性能提高有较大帮助。; 张学宇吴爱民冯煜东胡娟岳红云闻立时; 关键词：ECR-PECVD 磷掺杂微晶硅薄膜

柔性衬底上铝背电极制备及相关特性研究被引量：1: 2011年; 采用射频磁控溅射技术在聚酰亚胺柔性衬底上制备硅基薄膜太阳能电池用铝背电极,研究了不同溅射功率和工作气压条件对铝电极薄膜性能的影响.利用原子力显微镜分析表征了薄膜的表面形貌和粗糙度,薄膜的电学性能和光学性能分别采用四探针测量仪和紫外可见近红外分光光度计进行分析表征.测试结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜表面均方根粗糙度迅速增加,漫反射率提高,薄膜的最高平均漫反射率高达70%;同时薄膜电阻率降低.工作气压为0.5Pa时所制备的薄膜具有较低的电阻率和良好的漫反射率.综合考虑薄膜的电学性能与光学性能,薄膜的最佳制备条件为溅射功率300～450W、工作气压0.5Pa.; 岳红云吴爱民冯煜东胡娟张学宇李廷举; 关键词：薄膜太阳能电池柔性衬底背电极反射光谱

ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜: 太阳能电池是利用光生伏特效应,直接将太阳能转换成电能的光电器件。太阳能电池的研究已经有相当长的历史,提高太阳电池的光伏转换效率,降低制作成本是这一领域永恒的主题,也是有关科研工作者共同努力的方向。太阳能光伏电池的研发经历...; 胡娟吴爱民岳红云张学宇闻立时; 关键词：ECR-PECVD 太阳能电池; 文献传递

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胡娟