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王程韠

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电荷
  • 1篇质量传感器
  • 1篇谐振器
  • 1篇量计
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇王程韠
  • 1篇刘冰
  • 1篇刘泽文

传媒

  • 1篇2005(第...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种用于质量传感器和电荷探测的新型纳米谐振器
本文介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型,对器件的谐振特性进行模拟,分析了在不同电压下的非线性效应。模拟结果表明，以Si3N4为功能材料,最小线宽175纳米的器件,其谐振频率18.1MHz,采用双悬...
刘冰王程韠刘泽文
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