王晨飞
- 作品数:16 被引量:41H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- HgCdTe光伏探测器抑制背景通量的研究
- 对于长线列焦平面器件,简单的单孔冷屏往往不能有效地抑制背景。本文在Hg1-xCdxTe光伏探测器背面镀制微孔冷屏的办法来降低背景,测试结果表明,探测器镀制微孔冷屏之后,可以使背景辐射通量大幅度减少,同时减少了光串音。从而...
- 王晨飞陈洪雷李言谨
- 关键词:红外探测
- 文献传递
- 背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法
- 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法,该探测器包括:红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面...
- 叶振华周文洪胡晓宁王晨飞丁瑞军何力
- 文献传递
- 一种薄膜自动剥离装置
- 本发明公开了一种薄膜自动剥离装置,它包括直流电机、拨盘、驱动板、活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是;电机提供动力,通过机械机构由电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动,缸体的一端与泵连通,在活塞的驱动下,泵把试...
- 王正官王晨飞
- 文献传递
- HgCdTe光伏探测器性能与背景红外辐射变化的关系研究
- 在HgCdTe焦平面探测器的工作过程中,红外背景辐射通量对探测器的影响非常重要,本文就探测器与背景辐射通量的关系、红外背景通量抑制等几个问题进行了研究,具体内容如下:
1.对高温辐射下HgCdTe光伏探测器的I-V...
- 王晨飞
- 关键词:HGCDTE光伏探测器
- 红外光电探测器的前沿热点与变革趋势被引量:18
- 2022年
- 红外光电探测技术通常工作在无源被动的传感模式,具有作用距离远、抗干扰性好、穿透烟尘雾霾能力强、全天时工作等优点,在航天遥感、军事装备、天文探测等方面都有广泛应用。至今,二代、三代红外光电探测器已大规模进入装备,高端三代也在逐步推进实用化,并出现了前沿前瞻性的新概念、新技术、新器件。本文聚焦国内外的红外技术研究现状,重点介绍红外光电探测器当前的研究热点与未来的发展趋势。首先,介绍针对战术泛在化、战略高性能的SWaP^(3)概念。其次,综述以超高空间分辨率、超高能量分辨率、超高时间分辨率、超高光谱分辨率为特征的高端三代红外光电探测器,分析挑战光强探测能力极限的红外探测器的技术特征与实现方法。然后,论述基于人工微结构的四代红外光电探测器,重点介绍偏振、光谱、相位等多维信息融合的实现途径与技术挑战。最后,从片上数字化升级为片上智能化的角度,探讨未来极具变革性趋势的红外探测器。
- 叶振华李辉豪王进东陈星孙常鸿廖清君黄爱波李辉周松敏林加木潘建珍王晨飞陈洪雷陈路魏彦锋林春胡晓宁丁瑞军陈建新何力
- 关键词:红外光电探测器
- HgCdTe光伏探测器抑制背景通量的研究被引量:2
- 2007年
- 对于长线列焦平面器件,简单的单孔冷屏往往不能有效地抑制背景,本文在Hg1-xCdxTe光伏探测器背面镀制微孔冷屏的办法来降低背景。测试结果表明,探测器镀制微孔冷屏之后,可以使背景辐射通量大幅度减少,同时减少了光串音。从而证明微孔冷屏的确可以有效地抑制背景通量,减少光敏元响应面积扩大的问题,对于红外焦平面器件的性能提高有帮助。
- 王晨飞陈洪雷李言谨
- 关键词:HGCDTE探测器
- HgCdTe光伏探测器在高温背景辐照下的I-V特性分析被引量:5
- 2006年
- 对中波HgCdTe光伏探测器进行了不同目标温度范围的黑体辐射I-V测试研究,结果表明器件光电流随着目标辐射的升高逐渐上升,同时器件微分阻抗随之下降;在同一背景红外辐射下,器件微分阻抗随着反向偏压的增加而下降.采用“lucky electron”模型对器件的R-V曲线进行了拟合,结果证实器件反偏微分电阻下降的主要原因是由于pn结耗尽区光生载流子的激增,碰撞电离导致的光电倍增效应所引起.
- 王晨飞李言谨
- 关键词:HGCDTE
- 半导体工艺中的新型刻蚀技术——ICP被引量:16
- 2005年
- 本文详细介绍了电导耦合等离子体(ICP——Inductive Coupled Plasma)刻蚀技术的基本原理及相关工艺设备机构,根据近年来国内外 ICP 技术的发展现状和发展趋势,对其在光电子器件、半导体氧化物、Ⅲ-Ⅴ族化合物等方面的应用作了一些简要介绍。
- 王晨飞
- 关键词:刻蚀技术半导体工艺光电子器件ICP等离子体
- 基于选择性湿法腐蚀工艺的碲镉汞探测器的衬底去除技术
- 本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器衬底去除技术中的选择性湿法腐蚀工艺方法,该方法是在红外光敏感芯片和读出电路在冷压混成互连后,采用高选择比的无机酸腐蚀液,通过湿法腐蚀工艺,完全腐蚀衬底留下外延层,以展宽探测波段至可见光...
- 刘丹王晨飞钟艳红周松敏林春叶振华廖清君胡晓宁
- 文献传递
- 一种薄膜自动剥离装置
- 本发明公开了一种薄膜自动剥离装置,它包括直流电机、拨盘、驱动板、活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是;电机提供动力,通过机械机构由电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动,缸体的一端与泵连通,在活塞的驱动下,泵把试...
- 王正官王晨飞
- 文献传递