王俊杰
- 作品数:4 被引量:9H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
- MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究
- 本论文主要包括两方面内容:MEMS加速度传感器及其检测电路的减噪以及谐振器的静电自激驱动研究。
针对石油勘探的用途,为了更好地还原地震波的原始信号,在已经研制的MEMS加速度传感器的基础上,进一步提高传感器及电路性...
- 王俊杰
- 关键词:MEMS加速度传感器检测电路
- 文献传递
- 极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响被引量:2
- 2007年
- 根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明,在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小。
- 吴浩车录锋王俊杰王跃林
- 关键词:加速度传感器阻尼阶跃响应
- 石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究被引量:1
- 2007年
- 针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。
- 王俊杰车录锋吴浩王跃林
- 关键词:MEMS加速度传感器检测电路分辨力噪声
- 高Q值音叉式微陀螺静电自激驱动研究被引量:5
- 2007年
- 为了提高检测精度,对研制的具有滑膜阻尼的音叉式微机械陀螺采用静电自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上,并保持恒定的驱动振动速度幅度。分析了静电自激驱动电路工作原理,采用自动增益控制(AGC)设计制作了相应的检测电路,实现了Q值为325、谐振频率为2.04 kHz微陀螺的闭环恒幅自激振动。
- 王俊杰车录锋李玉芳熊斌谢铮王跃林
- 关键词:微机械陀螺自激振动自动增益控制